1. 프로젝트 개요

구매단위: 천진중태신소재유한회사

사업내용: ZYRO-D-500L 탁수월전자급 초순수설비

협력업체

천진중태재료과학기술유한공사 (이하'중태') 는"선진기능성 폴리아미드 단일 연구개발 생산을 핵심으로 글로벌 폴리아미드 재료산업 발전을 추진하는데 주력한다"는 사명을 가진 혁신형 첨단기술기업이다.크라우드타이에서 연구 제작한 폴리아미드 단일체는 현재 이미 무색 투명 플렉시블 폴리아미드 필름, 플렉시블 디스플레이 재료, 5G 신소재, 광민 폴리아미드 및 반도체 재료, 신에너지자동차 특수 절연 재료, 항공 우주 복합 재료 등 많은 하이테크 분야 제품의 생산에 광범위하게 응용되고 있다

준공식

2. 탁수월 전자급 초순수 시스템 개술

현재 반도체, 집적회로칩 및 패키지, 액정표시장치, 고정밀 회로판, 광전기부품, 각종 전자부품, 마이크로전자공업, 대규모, 초대규모 집적회로는 대량의 순수, 초순수 세척 완제품, 반제품을 필요로 한다.집적회로는 집적도가 높고 선폭이 좁을수록 수질에 대한 요구도 높다.현재 우리나라 전자공업부는 전자급 초순수를 네 등급으로 하고 있는데, 각각 EW-I급 ≥ 18M · cm, 전규소≤ 2ug/L, EW-II급 ≥ 15M · cm, 전규소≤ 10ug/L, EW-III급 ≥ 12M · cm, 전규소≤ 50ug/L, EW급 ≥ 0.5M · cm, 전규소급 ≤ 100cm로 구분하고 있다.그 중 초순수에 대한 관건적인 지표, 예를 들면 전도도 (전저율), 총 실리콘, PH값, 과립도, 미생물 등은 모두 다른 요구에 의해 요구된다.따라서 선로판, 회로판은 순수한 물을 사용하고 초순수는 그 자체의 공정 절차에 따라 초순수 제조에 대한 공정도 다르다.

설치 그림

3. 탁수월 전자급 초순수 시스템 공정:

1. 예비처리시스템 1급 반침투 중간물탱크 2급 반침투 EDI장치 질소봉물탱크 급수펌프 TOC 분해기 포광혼상 정밀여과기 용수점 (≥ 18MCM)

4. 탁수월 전자급 초순수 시스템 설비 특징:

전자반도체 초순수 시스템은 일반적으로 국가 수돗물 표준에 직접 접속한 물을 원수로 하며, 보통 다중 매체 필터, 활성탄 필터, 연화기 등이 예처리 시스템을 구성하고, 또 이중 반침투 호스트 시스템, 이온 교환 혼상 (EDI 전기 제염 시스템), 초순수 저장 장치, 정밀 여과 시스템 등이 주요 설비 시스템을 구성한다.시스템 물탱크에 액위 제어 시스템이 설치되어 있고, 질소 봉인 장치는 질소 공급 밸브, 질소 배출 밸브, 호흡 밸브로 구성되어 있으며, 온라인 수질 검측 제어 계측기, 전기는 모듈화 조합 PLC 및 통신을 원격으로 중앙 제어실 상위기로 수송하여 현장 현지와 집중 제어 두 가지 조작 방식을 실현하고, 인공적인 조작 복잡도와 유지 보수 작업량 등을 낮추며, 동시에 공예 재료 선택에 있어서 추천과 고객 요구가 통일된 방법을 채택하거나 회사의 수질 설비와 수요에 따라 수질 원가를 비교할 수 있으며, 동시에 수질 수요를 더욱 낮출 수 있다.

설치 그림

5. 탁수월 전자급 초순수 시스템 적용 분야:

1. 전해콘덴서 생산 알루미늄 포일 및 작업 부품의 세척

2. 전자관 생산, 전자관 음극 도포 탄산염 배액

3. 현상관과 음극선관 생산, 재료용 순수한 물

4, 흑백 영상 관 형광 스크린 생산, 유리 껍질 세척, 침전, 습윤, 세막, 관 목 세척용 순수한 물

5. 액정표시장치의 생산, 스크린은 순수한 물로 세척하고 순수한 물로 액체를 배합해야 한다

6. 트랜지스터 생산 중 주로 실리콘 조각을 세척하는 데 사용되며, 또 소량은 약액 조제에 사용된다

7. 집적회로 생산 중 고순수 세척 실리콘 조각

8. 반도체 소재, 부품, 인쇄회로기판 및 집적회로

9, LCD LCD, PDP 플라즈마 디스플레이

10. 고품질 영상관, 형광분말 생산

11. 반도체 재료, 웨이퍼 재료 생산, 가공, 세척

13. 초순도 재료와 초순도 화학 시약, 초순도 화학 재료

6. 탁수월 전자급 초순수 시스템 용수 표준:

미국 ASTM 순수 수질 표준, 전자공업부 고순수 수질 시범 표준, 미국 반도체 공업용 순수 지표, 일본 집적회로 수질 표준, 국내외 대규모 집적회로 수질 표준에 부합