ROHS 기기는 대부분 X선 형광 스펙트럼 (XRF) 기술을 기반으로 유해물질 검출을 실현하는데, 그 원리와 기술의 핵심은'자극-발사-분석'의 과정을 통해 재료의 원소 구성 및 함량을 정확하게 식별하는 데 있다.
XRF 기술의 기본 원리: 고에너지 X선 (기기 내의 X선 파이프 또는 방사성 동위원소 소스에 의해 생성) 이 샘플 표면에 비추면 샘플 중의 원자 내층 전자 (예: K 층, L 층) 가 격추되어 빈 구멍이 형성된다.이때 L층, M층과 같은 외층전자는 내층으로 이동하여 빈틈을 메우고 동시에 특정한 에네르기를 가진 특징적인 X선 (즉 형광X선) 을 방출한다.각 원소의 특징인 X선 에너지는 유일하다(예를 들어 납의 Kα선 약 72.8keV, 카드뮴의 Kα선 약 23.1keV). 이 형광의 에너지와 강도를 측정하면 시료에 어떤 원소와 상대적 함량이 존재하는지 판단할 수 있다.
ROHS 장비주요 기술 구현:
자극원: 주류 설비는 로듐 표적, 텅스텐 표적과 같은 X선 튜브를 사용하며, 튜브의 전압 (일반적으로 5-50kV) 과 전류 (1-100mA) 를 조절하여 경원소 (예: 나트륨, 마그네슘) 와 중원소 (예: 납, 수은) 의 자극 수요에 적응하기 위해 서로 다른 에너지의 초급 X선을 생성한다.일부 휴대용 장치는 방사성 동위원소 소스 (예: 은-109, 카드뮴-109) 를 사용하지만 에너지가 고정되어 유연성이 낮습니다.
탐지기: 축척 카운터(경원소용)와 실리콘 드리프트 탐지기(SDD)/반도체 탐지기(중원소용)로 나뉜다.SDD는 현재 첨단 기기의 표준으로 고해상도(인접 원소의 에너지 차이가 0.1keV에 불과하다는 것을 구분할 수 있음), 빠른 응답 속도(짧은 시간 검사에 적합)의 특징을 가지고 있으며, 납, 카드뮴, 수은 등 제한치가 매우 낮은 원소를 정확하게 식별할 수 있다.

데이터 분석 시스템: 기기에 내장된 소프트웨어는 탐지기가 수신한 형광 신호를 에너지-강도 스펙트럼으로 변환하여 알고리즘을 통해 알려진 원소의 특징봉 위치 (예: 납의 Kα봉은 72.8keV) 를 일치시키고 표준 곡선과 결합하여 구체적인 함량 (예: ppm급 정밀도) 을 계산한다.
기술의 장점과 한계: XRF 기술의 큰 장점은 비파괴성 (샘플이 용해되거나 파괴될 필요가 없음), 신속 (한 번 검사에 수십 초에서 몇 분 소요), 다원소 동기화 분석 (수십 가지 원소를 동시에 검사할 수 있음) 이다.그러나 수소, 헬륨과 같은 초경량 원소에 민감하지 않고 페인트 금속과 같은 표면 코팅이 두꺼운 시료는 다듬어 표층 간섭을 제거해야 한다는 한계가 있다.
XRF 기술의 원리와 기기 구현 방식을 이해하면 사용자가 요소 범위, 정밀도 요구와 같은 검사 요구 사항에 따라 적합한 ROHS 기기를 선택하고 사양 조작을 통해 검사 효능을 충분히 발휘할 수 있습니다.