진공 봉관기 전체 시스템은 일반적으로 다음과 같은 핵심 부품으로 구성된다

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Shenzhen Xicheng Scientific Instrument Co., Ltd

날짜:2025-06-23읽기 :0

진공 봉관기는 진공 또는 불활성 가스 환경에서 유리관, 금속관 또는 기타 용기를 밀봉하는 데 사용되는 전용 설비로 전자, 재료 과학, 반도체 제조, 과학 연구 실험 등 분야에 널리 응용된다.

진공 봉관기 전체 시스템은 일반적으로 다음과 같은 핵심 부품으로 구성됩니다.

1. 핵심 기능 부품

1. 진공 시스템

진공 펌프: 회전식 진공 펌프, 확산 펌프 또는 분자 펌프 (진공도 요구에 따라 선택) 를 포함한 음압 환경을 제공합니다.

진공 챔버: 봉인 대기 튜브를 수용하는 밀폐 공간으로, 일반적으로 스테인리스 스틸 또는 알루미늄 합금으로 만들어지며 관찰 창과 밀봉 문을 갖추고 있습니다.

진공 게이지: 피라니 게이지, 열 짝 게이지 또는 이온 게이지와 같은 챔버 내부의 진공도를 실시간으로 모니터링하여 공정 요구 사항을 충족시킵니다.

공기압 / 전동 밸브: 진공 챔버와 외부의 연결을 제어하고 신속한 공기 흡입과 충전 (예: 불활성 가스 메우기) 을 지원합니다.

2. 패키지 유닛 가열

가열로: 국부 또는 전체 가열봉관구역, 온도범위는 일반적으로 상온~1000 ℃ (조절가능) 로서 석영관, 유리관 또는 금속관의 용융봉인을 지원한다.

온도 컨트롤러: PID 온도 제어 시스템으로 가열 온도와 시간을 정확하게 설정하여 과열이나 봉쇄가 엄격하지 않도록 합니다.

화염분사총 (옵션): 일부 기종은 수산화염이나 아세틸렌염분사총을 장착하여 유리관의 고온용융밀봉에 사용한다.

3. 작업대 및 협착 기구

회전 / 초점이동 작업대: 봉인할 파이프의 위치를 고정하고 조정하는 데 사용되며 다중 작업공간의 연속적인 작업을 지원합니다.

정밀 클러치: 서로 다른 파이프 지름 (예: Φ1~50mm) 의 클러치 장치에 적합하여 파이프를 봉하는 과정에서의 안정성을 확보한다.

3차원 조절 브래킷: 파이프 부품의 각도와 높이를 미세하게 조정하여 복잡한 봉쇄 수요에 적응한다.

2. 진공 봉관기 보조 기능 모듈:

1. 가스 처리 시스템

불활성 가스 충전 모듈: 파이프를 봉인하기 전에 챔버나 파이프 안에 아르곤, 질소 등 보호 가스를 충전하여 산화나 오염을 방지한다.

가스 혼합 장치 (옵션): 다양한 가스를 비례적으로 혼합하여 특수 공정 요구를 충족시킵니다.

압력 센서: 충전 압력을 모니터링하여 내부 기압의 안정을 확보한다.

2. 냉각 시스템

수냉 또는 풍냉 장치: 가열된 파이프 부품을 빠르게 냉각하여 열 응력 손상을 줄이고 파이프 봉인 효율을 향상시키는 데 사용됩니다.

열교환기(옵션): 고온 공정 설계를 위해 챔버의 냉각을 가속화합니다.

3. 배기가스 처리 장치

배기가스 흡착 필터: 파이프를 봉하는 과정에서 발생하는 휘발성 유기물이나 유해 기체를 포획한다.

진공유지 수집기: 진공펌프의 기름때가 강실로 환류하는 것을 방지한다.