진공 플라즈마 제거 기계는 반도체 제조, 마이크로 전자 패키징 및 정밀 재료 처리의 핵심 장비로서 안정성과 공정 반복성은 제품의 양률과 비용에 직접적으로 관계됩니다.설비가 장기간 최상의 작업상태에 처해있도록 보장하고 그 사용수명을 연장하며 공예결과의 안정적이고 믿음직하도록 보장하기 위하여 과학적이고 엄밀한 보수체계를 실시하는것은 극히 중요하다.다음은 일상, 정기, 핵심 부품 및 장기 사용 중단 네 가지 방면에서 진공 플라즈마 젤라틴 제거기의 보양 방식을 상세히 설명할 것이다.

1. 일상 기초 보양: 사고를 미연에 방지하다

일상적인 보수는 설비의 안정성을 유지하는 첫 번째 방어선으로, 주로 설비 조작 인원이 생산 간격에서 완성한다.

1. 청결 및 목시 검사:

설비 외부: 매일 사용 전후, 먼지 없는 천으로 소량의 이소프로필알코올 (IPA) 을 묻히거나 이온을 제거한 물로 설비 외부 표면을 닦고, 관찰창과 조작 패널을 닦으며, 먼지와 얼룩을 제거하고 청결을 유지한다.동시에 설비의 외피에 뚜렷한 손상이 있는지, 잠금장치가 정상인지 검사한다.

공예 챔버 도어 씰링: 각 챔버 도어를 열기 전에 챔버 도어의 불소 고무 또는 실리콘 고무 씰링을 확인하고 청소합니다.먼지 없는 천으로 IPA를 묻혀 가볍게 닦아내고 그 위의 미세한 미세먼지를 제거하여 잔류물, 파손 또는 변형이 없도록 한다.좋은 밀봉은 고진공도를 유지하는 기초이다.

2. 상태 모니터링:

진공 시스템: 각 공정의 진공 흡입 시간을 기록합니다.만약 진공 흡입 시간이 현저하게 연장된 것을 발견한다면, 진공 누출이 존재하거나 기계 펌프의 성능이 떨어지는 것을 의미할 수 있으며, 즉시 상부에 보고해야 한다.

공정 매개 변수: 공정 과정 중의 무선 주파수 (RF) 출력 반사, 가스 유량, 챔버 압력 등 핵심 매개 변수가 안정적인지 면밀히 주시한다.비정상적인 파동은 종종 부품 노화의 전조이다.

냉각 시스템: 냉각수 순환 시스템의 압력계와 유량계를 검사하여 수치가 정상 범위 내에 있는지 확인하고, 수도관에 이상 온도가 없는지 터치하여 확인하며, 무선 주파수 소스와 챔버의 효과적인 발열을 보장한다.

2. 정기적인 예방성 유지보수: 체계적인 건강검진

정기적인 유지 보수는 전문 유지 보수 엔지니어가 장비 가동 시간 및 제조업체 권장 기간 (일반적으로 분기 또는 연도) 에 따라 수행해야 합니다.

1. 공예 챔버의 깊은 청결:

빈도: 200-400 시간 실행 또는 테이프 제거 속도, 균일성과 같은 공정 결과가 떨어질 때마다 수행됩니다.

방법: 챔버 실내에서 이동할 수 있는 부품, 예를 들어 전극판, 적재대, 차폐 덮개 등을 분해한다.전용 연마, 사포 또는 플라즈마 세척 자체를 사용하여 표면에 부착 된 폴리머 잔류 및 반응 부산물을 제거합니다.완고한 얼룩의 경우 화학적으로 담근 후 (예를 들어 N-메틸피프로닐 등 전용 세척제를 사용할 경우 안전에 주의해야 함) 다시 이온제거수로 씻어 건조할 수 있다.핵심 원칙: 딱딱한 물질로 긁는 것을 피하고, 강실 내 벽과 전극에 긁히는 것을 방지하며, 이러한 긁힌 자국은 입자 오염원이 되고 플라즈마 균일성에 영향을 줄 수 있다.

2. 진공 시스템 유지 관리:

기계식 펌프:

펌프 오일 검사 및 교체: 매월 기계 펌프 오일의 색상과 오일 위치를 검사합니다.맑은 호박색은 정상이며 짙은 갈색이나 유백색으로 변하면 기름이 오염되거나 물이 들어갔음을 나타내므로 즉시 교체해야 한다.사용 빈도에 따라 일반적으로 500-1000 시간 또는 반년마다 펌프 오일 및 오일 필터를 교체합니다.

배기여과기 교체: 기계펌프의 배기여과기를 정기적으로 교체하여 석유가스와 과립물의 반확산으로 환경이나 진공관로를 오염시키지 않도록 방지한다.

진공규관: 정기적으로 용량식박막규(CMG) 등을 교정하여 압력판독수가 정확하도록 확보한다.

누출 검사: 헬륨 스펙트럼 누출 검사기를 사용하여 전체 진공 시스템에 대해 주기적인 누출 검사를 진행하여 시스템의 기밀성을 확보한다.

3.가스 회로 시스템 유지 관리:

가스 필터: 가스 공급원 입구와 고주파 솔레노이드 밸브 앞의 입자 필터 필터를 교체하여 불순물이 챔버와 밸브에 들어가는 것을 방지합니다. 보통 반년 또는 매년 한 번입니다.

품질 흐름 컨트롤러(MFC): MFC는 공정 가스의 정확한 흐름을 제어하는 핵심 부품입니다.정기적으로 표준 기체를 통하여 교정하여 그 정밀도를 확보해야 한다.만약 장기간 사용하지 않는다면 그 내부에 질소가 불어서 막히는 것을 방지해야 한다.

4. 무선 주파수(RF) 시스템 점검:

매칭기 유지 관리: 매칭기 내의 가변 커패시터의 전극에 라이터 흔적이나 오염이 있는지 확인하고 청소합니다.모터가 정상적으로 작동하는지 확인하여 빠르고 정확하게 임피던스 정합을 실현할 수 있다.

RF 케이블 및 커넥터: RF 케이블과 헤드가 느슨해지거나 노후화되거나 손상된 징후가 있는지 확인하여 안정적인 연결을 보장하고 에너지 반사로 인해 RF 발생기가 손상되는 것을 방지합니다.

3. 핵심부품의 전문보수와 교체

일부 부품은 소모품에 속하며 그 상태는 공예의 질을 직접 결정하므로 중점적으로 감시하고 제때에 교체해야 한다.

1.진공 밀봉 코일: 장기간 고온, 플라즈마 투사 및 기계 압력에 처해 있으면 밀봉 코일이 노화되고 탄성을 잃을 수 있습니다.1 ~ 2 년 또는 진공도가 유지되지 않는 것으로 발견 될 때마다 모든 주 씰 (캐비티 도어, 관찰 창, 전극 피드 등) 을 체계적으로 교체하는 것이 좋습니다.

2.관찰창: 석영 또는 산화알루미늄 관찰창은 플라즈마 폭격으로 점차 희미해져 종점 검측 시스템의 정밀도에 영향을 준다.투광률이 현저히 떨어지면 광택을 내거나 교체해야 한다.

3.펌프 오일 및 필터: 진공 시스템이 건강하게 작동하는"혈액"과"신장"으로 교체 주기를 엄격히 따릅니다.

4. 장기 사용 정지 기간의 보양

설비를 한 달 이상 방치해야 한다면 반드시 봉인 처리를 해야 한다.

1.챔버 보호: 공예 챔버를 청결하고 건조한 후, 건조한 고순도 질소를 대기압보다 약간 높게 충전하고 모든 밸브를 닫아 공기와 습기가 들어오는 것을 방지한다.

2.진공 시스템 보호: 기계 펌프를 끄고 펌프 오일을 배출하고 새로운 오일로 씻은 후 새로운 오일을 주입합니다.또는 기계식 펌프를 2 주마다 30 분 동안 정기적으로 가동하여 윤활유 및 밀폐를 유지합니다.

3.정전 및 방진: 기본 전원 공급 장치 (필수 지원 하위 시스템 제외) 를 끊고 방진 덮개로 장치를 덮습니다.