고정밀 배기계특정농도표준기체를 제조하는데 사용되는 정밀설비로서 환경감시측정, 공업검측, 실험실교정 등 분야에 널리 응용되며 그 조작규범성은 배기정밀도와 설비수명에 직접적인 영향을 준다.다음은 단계화된 조작규범과 핵심주의사항으로서 직접 착지하여 집행하기 편리하다.

1. 조작규범 (단계화)

1. 전원 켜기 전 준비(체크리스트)

2. 전원 켜기 및 매개변수 설정

전원 켜기: 설비의 총 전원을 연결하고, 전원 켜기 키를 누르고, 기기의 자체 검사가 완료될 때까지 기다립니다 (자체 검사 실패는 정지 조사가 필요함).

배기 모드 선택: 필요에 따라 동적 배기 또는 정적 배기 모드를 선택하고 일반적인 고정밀 배기 우선 동적 모드를 선택합니다.

입력 매개변수

목표 가스 농도 설정: 필요한 표준 가스 농도 값 (단위: ppm, ppb,%) 을 정확하게 입력합니다.

가스 적재 유량과 원료 가스 유량 설정: 설비 양정과 배기 공식에 따라 계산하거나 설비 내장 배기 방안을 호출한다.

배기 시간 설정: 필요에 따라 지속 배기 시간 또는 1회 배기 부피를 설정합니다.

매개 변수 확인: 입력 매개 변수가 틀리지 않았는지 확인한 후 저장하고 실행 대기 상태로 들어갑니다.

3. 배기 운행

기원 열기: 먼저 가스 실린더 감압 밸브를 열고, 설정 압력으로 천천히 조절하고, 다시 원료 가스 감압 밸브를 열다;가스로 압력계를 관찰하여 압력의 안정을 확보하다.

시동 운행:"시작"키를 누르면 기기가 자동으로 설정 파라미터를 눌러 기체를 혼합한다;디스플레이를 실시간으로 관찰해 유량, 농도 등 매개변수가 안정적인지 모니터링한다.

안정 샘플링: 배기 운행 5~10분 동안 파라미터가 안정된 후 샘플링을 진행하거나 표준 가스를 출력한다;샘플링 시 샘플링 파이프라인에 고정 볼륨이 없는지 확인합니다.

4. 종료 프로세스

배기 중지:"정지"버튼을 누르면 기기가 원료 가스 공급을 중지하고, 배기 가스를 유지하여 파이프라인을 3~5분 동안 계속 청소하고, 잔류 원료 가스를 제거한다.

가스 공급원 폐쇄: 먼저 원료 가스 강병 및 감압 밸브를 폐쇄하고, 다시 가스 강병 및 감압 밸브를 폐쇄한다;배공 파이프라인 내 잔류 가스 (유독가스는 배기가스 처리 장치에 통입해야 함).

장치 종료: 가스 회로에 압력이 없음을 확인한 후 기기의 전원을 끄고 총 전원을 끊습니다.

대장 기록: 배기 날짜, 목표 농도, 실제 농도, 운행 시간, 설비 상태 등을 포함한 조작 기록을 작성한다.

2. 핵심 주의사항

1. 안전 주의사항

가스 안전:

가연성 가스 (예: 수소, 메탄) 를 조작할 때, 현장에서는 불을 밝히는 것을 엄금하고, 폭발 방지 설비와 가연성 가스 검측기를 배치한다.

유독유해가스 (예를 들면 황화수소, 일산화탄소) 는 반드시 통풍장 안에서 조작해야 하며, 조작자는 방독면, 보호장갑을 착용해야 한다.

염소, 암모니아 가스와 같은 부식성 가스는 전용 내부식 파이프라인 및 커넥터를 사용하여 부식 장비 및 인력 누출을 방지합니다.

압력 안전: 과압 운행을 엄금하고, 감압 밸브 조절은 천천히 조작해야 하며, 압력이 급상승하여 기기 센서를 손상시키는 것을 방지해야 한다.

전기안전: 설비의 접지가 믿음직하고 습한 환경조작을 피하며 단락감전을 방지한다.

2.정밀도 보장 주의사항

배관 청소: 가스 종류를 처음 사용하거나 교체하기 전에 10~15분 동안 배기가스로 배관을 청소하고 배관 내 불순물과 잔류 가스를 제거한다.

교정주기: 정기(일반적으로 3~6개월마다) 계기유량계, 농도센서를 교정하고 인증표준기체측정을 사용하여 배기정밀도를 확보한다.

기체 순도: 가스 적재 순도는 ≥ 99.999%, 원료 가스는 자격증이 있는 표준 가스를 사용해야 하며, 불순물이 배기 결과에 영향을 주지 않도록 해야 한다.

방해를 피한다: 배기 과정 중 설비를 자주 건드리지 않도록 하고, 밸브를 조절하여 유량 파동을 방지한다;환경온도의 파동은 ± 2 ℃ 를 초과해서는 안 된다.

3. 유지보수 주의사항

일상적인 청결: 정기적으로 계기의 외피를 닦고 가스로 이음매의 먼지와 기름때를 정리한다.

손상되기 쉬운 부품 교체: 정기적으로 관로 밀봉 코일, 감압 밸브 밀봉 코일을 검사하고 노화 후 즉시 교체한다;유량계 필터가 막혔을 때 분해하여 씻거나 교체하십시오.

방습 방진: 설비가 유휴 상태일 때 방진 덮개로 덮어 내부 건조를 유지한다;장기간 사용하지 않을 때는 월 1회 전원을 켜고 전원을 켜서 부품의 노화를 방지한다.

고장 처리: 설비에 경보 또는 이상이 발생하면 즉시 정지하고, 가스 공급원, 파이프라인, 파라미터 설정 등 문제를 조사하며, 고장 운행을 엄금한다;복잡한 고장은 공장과 판매 후에 연락한다.

셋,고정밀 배기계자주 발생하는 문제 신속 해결

고장 현상	가능한 원인	조사 방법
배기 농도가 낮은 편이다.	원료 가스 압력 부족;파이프라인 누출;유량계가 정확하지 않다.	원료 가스강병의 압력 검사하기;비눗물 검측 파이프라인 누출;정렬 유량계
농도 파동이 심하다	기원의 압력이 불안정하다.환경 진동;센서가 조정되지 않았습니다.	안정 기원 교체;진동원을 멀리하기;센서 재지정
기기가 켜지지 않음	전원이 연결되지 않았습니다.퓨즈 가 녹다	콘센트 확인;일치 사양 퓨즈 교체