분자펌프조의 가장 흔히 볼수 있는 고장중의 하나는 진공도가 표준에 도달하지 못한것으로서 진공계의 표시수치가 시종 목표치보다 높아 공예에 필요한 고진공상태에 도달할수 없다는것을 나타낸다.이 문제를 일으킨 원인은 주로 세 가지가 있다: 첫째, 밀봉 부품이 노화되거나 파손되었는데, 예를 들면 프랑스 밀봉 코일이 장기간 고온, 저온이 교체되어 균열이 생겨 공기가 누출되었다;둘째, 흡기구나 파이프에 막힘이 존재하여 분진, 공예 찌꺼기가 쌓여 기류의 유통을 방해한다;셋째, 분자펌프 자체의 성능이 감쇠되고 회전자날개가 마모되거나 전기기계의 회전속도가 부족하다.진단 시 먼저 헬륨 질량 스펙트럼 누출 검사기로 밀봉면을 검사하고, 헬륨가스 누출이 발견되면 밀봉부품을 교체할 수 있다;공기 흡입 파이프를 다시 검사하고 압축 공기로 막힌 물건을 청소하거나 분해합니다.앞의 두 항목에 이상이 없으면 모터의 회전 속도를 검사하고 필요할 때 회전자나 모터를 교체해야 한다.

이상 소음과 진동도 그것의 고주파 고장으로, 운행 시 귀를 찌르는 소리나 기체의 격렬한 떨림을 발생시켜 설비의 수명에 영향을 줄 뿐만 아니라 관련 부품도 손상시킬 수 있다.고장의 근원은 대부분 기계불균형이다. 례를 들면 회전자동균형이 파괴되고 베어링이 마모되거나 윤활이 부족하며 펌프조와 받침대의 련결이 느슨해질수도 있다.진단 절차는 다음과 같다. 우선 정지하여 연결 볼트를 검사하고 토크 렌치로 표준 모멘트에 따라 단단히 고정한다.그 다음에 펌프체를 분해하고 베어링 롤러에 스크래치, 마모가 있는지 관찰하며 문제가 있으면 즉시 교체하고 전용 고온 윤활지를 주입한다.베어링이 정상적이면 회전자의 동평형을 교정하여 회전할 때 중심을 안정시켜야 한다.

이밖에 전기기계의 과부하스위치고장도 비교적 흔히 볼수 있는데 설비운행중에 갑자기 정지되여 배전상자내의 과부하보호스위치가 끊어졌다.이 고장은 일반적으로 펌프 챔버에 이물질이 들어가 로터가 걸리거나 전기 기계의 발열 불량으로 온도가 너무 높거나 전원 전압이 불안정한 등 부하가 너무 커서 발생한다.조사 시 먼저 전원을 차단하고 수동으로 회전자를 돌려 끊기면 펌프체를 분해해 이물질을 제거한다.모터 히트싱크 팬이 손상되었는지, 히트싱크 통로가 막혔는지 확인하고, 부품을 즉시 청소하거나 교체합니다.동시에 만용계로 전원 전압을 검측하여 설비의 정격 전압 범위 내에 있는지 확인하고, 필요할 때 전압 안정 장치를 설치한다.

그것의 고장 진단과 제거는"먼저 현상을 관찰하고, 다시 원인을 분석하고, 마지막에 정확하게 처리한다"는 원칙을 따라야 하며, 동시에 정기적으로 예방성 유지보수를 전개해야 하는데, 예를 들면 밀봉면 청결, 베어링 상태 검사, 모터 파라미터 교정 등을 전개해야만 고장 발생을 최대한 줄일 수 있고, 설비의 장기적인 안정적인 운행을 보장할 수 있으며, 고정밀 생산과 실험에 신뢰할 수 있는 진공 환경 지원을 제공할 수 있다.