1. 일상적인 청결

매번 공예가 끝난 후에는 반드시 즉시 가열대 표면의 잔류물을 정리해야 한다.고순도 먼지 없는 천을 사용하여 전자급 아세톤이나 이소프로필알코올을 묻혀 테이블을 부드럽게 닦고 포토레지스트, 금속 잔류 또는 과립물을 제거한다.정밀 온도 제어 영역을 긁거나 표면 코팅이 손상되지 않도록 경질 공구를 사용하여 긁는 것을 엄금한다.완고한 잔류에 대해서는 초음파 세척 (분해가 허용될 경우) 이나 전용 젤라틴 제거 처리에 협조할 수 있다.청소 후 건조함을 확보하고 사용합니다.

2. 온도 교정

1 ~ 3개월 또는 누계 200시간마다 온도 조정이 필요합니다.계량 인증을 받은 고정밀 표면 온도계 (예: 적외선 온도 측정기 또는 열전지 프로브) 를 사용하여 테이블의 여러 핵심 점 (중심, 가장자리, 사각) 을 비교 측정하여 온도 분포도를 그립니다.온도 차가 공정 허용 범위 (일반적으로 ≤ ± 1 ℃) 를 초과하는 것을 발견하면 제어 시스템을 통해 다중 보정을 수행하거나 제조업체에 연락하여 PID 매개변수를 조정해야합니다.정기적인 교정은 열전쌍의 노화나 가열 불균형으로 인한 공정 편차를 효과적으로 예방할 수 있다.

3. 가열 소자 및 센서 검사

반년마다 가열사나 세라믹 가열모듈에 단열, 산화 또는 국부 과열 흔적이 있는지 검사한다.온도 제어 센서 (열전대 또는 RTD) 의 접촉이 양호하고 느슨하지 않은지 관찰한다.만약 부품의 성능이 떨어지는 것을 발견하면, 즉시 원공장의 부품을 교체하여, 국부적인 과열로 웨이퍼를 손상시키거나 안전사고를 일으키지 않도록 해야 한다.

4. 탁상면 평평도와 흡착성능 유지보수

진공 흡착 기능이 있는 가열대의 경우, 정기적으로 진공 구멍이 막혔는지 확인하고, 압축 공기를 사용하여 역방향 청소를 한다.측정대면의 평평도를 측정하고 광학평정 또는 천분계측량을 사용하며 만약 변형이 표준을 초과할 경우 연마하여 복구해야 한다.진공 씰링에 노화, 균열이 없는지 확인하고 필요한 경우 교체하여 균일한 흡착력을 유지하고 웨이퍼가 휘거나 미끄러지지 않도록 합니다.

5. 전기 및 제어 시스템 검사

전원 코드, 연결 단자가 느슨하고 산화되었는지 확인합니다.접지 신뢰성 확인, 정전기 축적 방지.온도 제어 프로그램, 과온 보호, 경보 기능이 정상적으로 응답하는지 확인합니다.전압 파동이 온도 제어 안정성에 영향을 주지 않도록 하다.