고진공 자기 제어 사출 증발 도금기는 진공 환경에서 자기 제어 사출 기술과 증발법을 결합하여 박막을 제조하는 데 사용되는 설비로, 주로 반도체 재료, 광학 소자 등 분야의 박막 제조에 사용된다.
성능 특징
박막의 질이 높다: 자기 제어 사출 침적의 박막은 치밀하고 부착력이 강하여 막의 두께와 성분을 정확하게 제어할 수 있다;진공 증발은 순도 높은 박막의 퇴적을 실현할 수 있으며, 양자를 결합하면 성능이 좋은 박막을 제조할 수 있는데, 예를 들면 광학 박막, 전자 부품 박막 등 방면에서 좋은 응용 효과를 가지고 있다.
도금 재료는 광범위하다: 금속, 합금, 화합물, 반도체 등 다양한 재료를 처리할 수 있으며, 자기 제어 사출을 통해 고융점 금속, 합금 및 화합물 박막을 침적할 수 있을 뿐만 아니라 진공 증발을 통해 순수한 금속, 유기물 등 박막을 침적할 수 있다.
공정 유연성이 강하다: 자기 제어 사출의 출력, 기체 압력, 표적 기거리 및 진공 증발의 가열 온도, 증발 속도 등 매개변수를 조정하여 단일 표적 사출, 다중 표적 공동 사출, 반응 사출, 증발 도금 및 그들의 조합 공정 등 다양한 도금 공정을 실현할 수 있다.
응용 분야
전자 분야: 반도체 칩을 제조하는 데 사용되는 전극, 상호 연결층, 차단층 및 평면 디스플레이의 투명 전도막, 광학 매체막 등, 예를 들면 산화 인듐 주석 투명 전극, 구리 상호 연결층 등의 제조.
광학 분야: 증투막, 여과막, 반사막 등 광학 박막을 제조하여 광학 부품, 태양 전지, 광학 렌즈 등 광학 부품의 광학 성능을 향상시킬 수 있다.
기계 분야: 금형, 베어링 등 표면에 경질 내마모 코팅, 자체 윤활 코팅 등을 퇴적하여 경도, 내마모성 및 사용 수명을 높인다.
장식 분야: 자동차 내외 장식품, 전자제품 케이스, 보석 액세서리 등 표면에 금속막, 합금막, 컬러막 등을 도금하여 제품의 미관과 장식성을 향상시키는 데 사용한다.