JXA-8230 전자 프로브전자빔 작용 시료 후 생성되는 특징인 X선을 이용해 미세구역 성분 분석을 하는 기기로, 얇은 조각 속 광물 미세구역의 화학적 구성을 분석하는 데 활용할 수 있다.H, He, Li, Be 등 몇 가지 가벼운 요소를 제외하고 U 요소 이후의 요소를 제외하고는 모두 정성과 정량 분석을 할 수 있다.전자탐침의 대량의 양은 가속과 초점을 거친 극히 좁은 전자빔을 탐침으로 리용하여 시료중의 어느 한 미소한 구역을 자극하여 특징적인 X선을 발산하게 하고 당해 X선의 파장과 강도를 측정하면 당해 미구의 원소를 정성 또는 정량분석할수 있다.

　JXA-8230 전자 프로브의 구조:

JXA-8230 전자프로브 X선 현미분석기는 약 1Pm의 세초점 전자빔을 이용하여 샘플 표층 마이크로존 내에서 원소의 특징인 X선을 자극하여 특징인 X선의 파장과 강도에 따라 마이크로존 화학성분의 정성 또는 정량 분석을 진행한다.전자탐침의 광학시스템, 진공시스템 등 부분은 스캐닝렌즈와 기본적으로 같으며 일반적으로 2차전자와 배산란전자신호검측기도 장착되여있으며 동시에 조직형상과 미구성분분석 두 방면의 기능을 겸비하고있다.전자프로브의 구성은 스캐닝 렌즈와 구조가 비슷한 호스트 시스템 외에도 주로 분광 시스템, 검측 시스템 등의 부분을 포함한다.

JXA-8230 전자 프로브는 주로 전자 광학 시스템, X 선 분광기 및 정보 기록 디스플레이 시스템으로 구성됩니다.전자 프로브와 스캐닝 렌즈는 전자 광학 시스템의 구조가 기본적으로 같으며, 종종 단일한 기기로 조합된다.

　　JXA-8230 전자 프로브의 장점:

1. 미구 분석을 할 수 있다: 몇 개의 μm3 내 원소의 성분을 분석할 수 있다.

2. 현장 분석을 할 수 있다: 분석 대상을 샘플에서 꺼낼 필요가 없고 큰 시료 중의 미소한 구역을 직접 분석할 수 있다.전자현미경과 전자탐침을 결합하면 현미경에서 관찰한 현미조직과 원소성분을 련계시킬수 있다.

3. 분석 범위가 넓다: Z>4 그중, 스펙트럼: Be-U, 스펙트럼: Na-U.

　　JXA-8230 전자 프로브의 특징:

전자탐지기는 시료 중 미세한 영역의 화학적 구성을 정성 또는 정량 분석할 수 있다.점, 선 스윕, 면 스윕 분석을 수행할 수 있습니다.자동 대량 정량 분석도 가능합니다.전자탐침기술은 조작이 신속하고 간편하며 실험결과의 해석이 단도직입적이고 분석과정이 견본을 손상시키지 않으며 측정정확도가 비교적 높은 등 장점이 있기에 야금, 지질, 전자재료, 생물, 의학, 고고학 및 기타 분야에서 날로 광범위하게 응용되고 광물시험분석과 견본성분분석의 중요한 도구이다.