진공 컨트롤러는 특정 공간 내 진공도를 유지하기 위한 제어장치로 압력센서, 솔레노이드 밸브 및 밸브 등의 부품으로 구성되며 실험실 실험, 농축 증류, 클린룸 환경 측정 및 산업 생산 과정에 널리 활용된다.

1.압력 모니터링: 진공 컨트롤러는 내장 된 고정밀 세라믹/실리콘 반도체 센서 또는 진공 튜브를 통해 실시간으로 시스템의 절대 압력을 감지합니다.이 센서들은 물리적 압력 신호를 전기 신호로 변환하고 24 비트 AD 변환 칩을 통해 디지털 처리를 수행하여 고정밀 압력 판독을 보장합니다.

2.데이터 처리 및 결정: 컨트롤러는 8점 최소 2승법으로 센서의 비선형 데이터를 의합하여 처리하여 압력 검측 정밀도를 높인다.그 후 제어 유닛은 실측 압력과 설정 값을 비교하여 인공지능 PID 알고리즘을 통해 조절 명령을 생성하고 16비트 DA 신호 구동 실행 기관을 출력한다.

3. 집행기구 응답: 컨트롤러의 지령에 따라 마이크로미터급 가변 누출 밸브 또는 전동 바늘 밸브 세트가 신속하게 응답(응답 시간 <50ms)하여 기체 유량을 조절하여 압력 편차를 수정한다.저진공 구간 (1Pa~1000Pa) 에서는 주로 흡기 바늘 밸브의 개도를 조절하여 압력 균형을 유지한다;고진공 세그먼트 (<1Pa) 에서는 배기 핀 밸브로 전환하여 진공도를 제어합니다.

4. 폐쇄 루프 운행: 전체 시스템은 하나의 폐쇄 루프를 형성하여 기체의 유입과 배출량의 동적 균형을 통해 설정된 진공도를 유지한다.이밖에 시스템은 또 과압보호, 이중설계 등 다급안전보장메커니즘을 구비하여 이상고압시 제때에 기류를 차단하고 기체가 역류하는것을 방지할수 있도록 확보하였다.

진공 컨트롤러 사용 시 고려할 사항:

1.설치 위치: 진동과 자기장 간섭을 멀리하고 전원선과 신호선의 정확한 연결을 보장하며 방수와 방진에 주의를 기울여야 한다.

2. 연결 요구: 인터페이스의 밀봉성을 확보하고 공기가 새지 않도록 한다.진공도 측정 및 제어에 영향을 주지 않도록 인터페이스의 이완도에 주의하십시오.

3. 교정 작업: 정기적으로 교정하여 진공계 컨트롤러를 진공도 표준표에 연결하고 표준표의 판독수에 따라 교정하여 측정의 정확성을 확보한다.

4.안전 조작: 시스템 능력 범위를 벗어나지 않도록 하고 인신과 설비에 위험을 초래하지 않도록 한다.사용과정에 그 어떤 외력으로도 진공멸호실에 부딪쳐서는 안되며 두드리거나 손으로 두드리는것을 엄금하며 옮기거나 유지보수할 때 힘을 받지 못한다.

5. 일상적인 유지보수: 정기적으로 진공계 컨트롤러의 표면과 인터페이스를 청소하여 인터페이스의 밀봉성을 확보한다.정기적으로 전원 코드와 신호선의 연결 상태를 확인하여 연결의 견고성을 확보합니다.