PECVD 플라즈마 증강 기상 퇴적박막제조에서 광범위하게 응용되는 기술로 그 과정은 기능성 코팅을 정확하게 구축할 수 있지만 환경과 인원에 대한 잠재적인 영향도 수반하므로 체계적인 사고방식으로 통제를 실시해야 한다.
환경 영향은 먼저 공정 가스의 사용과 배출에서 온다.침적 과정 중 실리콘, 암모니아 가스, 수소 등 특수 기체와 자주 관련되며, 일부는 독성 또는 가연성을 가지고 있으며, 누출 또는 폐기의 직접 배출은 대기와 인원의 안전을 해칠 수 있다;플라즈마 방전은 미량의 부산물 입자와 휘발성 유기물도 생성하기 때문에 처리하지 않으면 작업장 공기와 주변 생태를 오염시킬 수 있다.둘째, 설비 운행은 지속적으로 에너지를 소모해야 하며, 전기 에너지 소모는 간접적으로 탄소 배출 압력을 가져온다;냉각 시스템의 물을 순환 처리하지 않으면 수자원 부담도 가중될 수 있다.
통제의 관건은 전반 과정의 페쇄와 말단관리의 결합에 있다.가스 수송 단계는 이중 파이프라인과 누출 모니터링을 채택하여 원료가 밀폐 시스템에서 유통되도록 보장하고 일산 위험을 줄인다;반응강체는 음압운행을 유지하고 페기는 고효률포집을 거친후 처리단위에 들어가 연소분해, 흡착정화 또는 촉매전환 등 방식으로 유해조를 무해하거나 저해한 형태로 나누어 다시 배출한다.부산물 미세먼지의 경우 환경으로 확산하지 않도록 고효율 필터를 배치해 차단할 수 있다.
에너지 소비량 최적화도 중요합니다.무선 주파수 매칭과 플라즈마 자극 효율을 개선함으로써 무효 전력 손실을 줄일 수 있다;공정매개변수를 정확하게 조절통제하여 막질을 보장하는 전제하에 퇴적시간을 단축하고 에너지총투입을 줄인다.냉각 시스템은 폐식 순환과 여열 재사용을 채택하여 물 소모와 열 배출을 낮춘다.설비유지보수차원에서 정기적으로 밀봉부품을 검사하고 강체에 쌓인 때를 정리하면 공예의 안정성을 유지할수 있을뿐만아니라 은페적인 루출이 환경위험으로 루적되는것을 방지할수 있다.
PECVD 플라즈마 증강 기상 퇴적의 환경영향은 통제할수 없는것이 아니라 원천감량, 과정페쇄와 말단관리사이에 페쇄고리를 구축해야 한다.오직 록색리념을 공예설계와 운행관리에 내장해야만 이 기술이 능력을 부여하여 제조하는 동시에 환경과 인원에 대한 친선공존을 실현할수 있다.