오일 분광기는 용해되거나 윤활유에 떠 있는 마모 원소, 오염 원소 또는 첨가제 원소의 함량을 측정한다.각종 원소의 함량을 통해 설비의 마모 정도와 위치를 판단한다.설비 마모는 유액 검사의 기초이다.윤활유의 노화나 윤활유 오염의 검측이나 기타 방면의 검측을 진행하든 모두 설비의 마모를 피하기를 바란다.원소 분석은 유액 모니터링의 시작이다.1941년, 미국기차는 증기기관에서 내연기관으로 승격되였는데 내연기관은 고열, 회전, 왕복 등 여러가지 복잡한 운동을 갖고있었다.그래서 기차 고장률이 매우 높기 때문에 미국 철도국 * 은 원소 분석을 도입하여 검측을 진행하고 설비의 마모를 예지하여 기차 내연기관의 고장을 낮춘다.

서로 다른 설비, 서로 다른 부품, 구성된 원소가 다르기 때문에 원소 분석을 통해 마모가 발생하는 위치를 판단할 수 있다.예를 들어 피스톤은 철과 셀렌으로 이루어져 있다.피스톤 고리는 크롬과 철로 구성되어 있다.만약 철원소의 함량이 30ppm에서 단번에 150ppm으로 상승한다면 설비의 마모는 틀림없이 심해질것이다.셀레늄 함량이 동시에 상승하면 마모의 위치를 판단할 수 있다.