PLUTO-30 (30L) 다기능 플라즈마 세척기 - 비디오 온라인 시청

PLUTO-30은 13.56MHz 무선 주파수 발생기와 자동 매칭 네트워크 전원 공급 장치가 전체 프로세스 영역에서 균일한 플라즈마를 생성하도록 설계된 완전 기능 플라즈마 시스템입니다.Pluto30의 진공 캐비티는 다양한 모양의 샘플을 수용하기 위해 최대 7개의 조절식 샘플 랙을 지원합니다.Pluto30은 RIE와 PECVD 모드로 구성할 수 있는 다양한 전극 설정을 갖추고 있어 이 시스템의 적용 범위를 넓히고 사용자에게 좋은 유연성을 제공한다.