1. 조작전 준비 (5분만에 해결, 안전제일)

보안 점검:

기기의 접지가 양호하고 (누전 방지), 전원 전압이 정격 요구 사항 (예: AC220V ± 10%) 을 충족하는지 확인합니다.

가스관로 (예: 아르곤, 산소, 질소) 가 긴밀하게 연결되어 있는지, 누출이 없는지 검사한다 (비눗물을 통해 이음매에 발라 검사할 수 있으며, 기포가 없으면 정상이다).

환기장 (휘발성 샘플을 처리하는 경우) 이나 배기 장치를 열어 플라즈마 반응으로 인한 소량의 가스가 환경을 오염시키지 않도록 한다.

샘플 준비:

세척할 샘플 (예: 칩, 유리, 플라스틱 부품, 금속 부품) 표면의 큰 불순물 (예: 먼지, 기름 얼룩) 을 미리 청소 (무수 에탄올로 닦은 후 말림) 하여 불순물이 세척 효과에 영향을 주지 않도록 한다;

샘플을 샘플 선반에 고정하여 샘플 표면에 가림막이 없음 (플라즈마는 균일하게 덮어야 함) 을 보장하고 샘플 선반은 반응강 중심 위치 (전극에 접근하지 않음) 에 배치합니다.

소모품 및 환경 확인:

가스강병의 압력을 검사하여 (보통 0.2-0.5MPa를 유지해야 함.) 가스가 충족하도록 확보한다.

반응 캐비티 도어 밀봉 패드가 깨끗하고 파손되지 않았음(진공 밀봉 효과 보장), 실험 환경에 강한 진동이나 분진이 없음(기기 운행에 영향을 주지 않음)을 확인한다.

2. 핵심 운영 단계 (수동 개입 없이 지능형 설정)

시동 기기 및 진공 공기 흡입:

기기의 총 전원을 켜고 제어 시스템 (일부 모델은 터치스크린 조작) 을 가동하고"수동 모드"또는"자동 모드"(초보자 추천 자동 모드, 자주 사용하는 세척 매개변수 내장) 를 선택한다.

반응강문을 닫고"진공흡입"버튼을 누르면 계기는 자동적으로 진공펌프를 가동하여 반응강내의 압력을 설정진공도 (일반적으로 10-100Pa, 견본류형에 따라 조정) 로 뽑아내고 공기흡입이 완성되면 계기는 자동적으로 제시 (표시등이 밝거나 벌울림) 한다.

가스 유입 및 매개변수 설정:

세척 가스 유형 (예: 기름 오염물 세척용 산소, 표면 활성화용 아르곤, 복합 세척용 아르곤 + 산소) 을 선택하고 가스 유량 (일반적으로 10-50sccm, 유량이 너무 크면 진공을 파괴하기 쉽고 너무 작으면 플라즈마 농도가 부족함) 을 설정합니다.

세척 매개변수를 설정하려면 다음과 같이 하십시오.

출력 (50-300W, 경질 샘플은 고출력, 연질/열 민감 샘플은 저출력);

세척 시간 (30초-10분, 경도 오염은 짧은 시간, 깊이 세척은 긴 시간);

일부 모델은 필요에 따라 설정할 수 있는'세그먼트 매개변수'(예를 들어 저전력 사전 처리, 고출력 세척)를 지원합니다.

플라즈마 세척 시작:

매개변수가 오류가 없음을 확인한 후,"세척 시작"버튼을 누르면 기기가 자동으로 프로세스를 실행한다: 먼저 기체 유량과 진공도의 안정을 유지한 후 무선 주파수 전원을 가동하여 플라즈마를 생성한다 (반응강 내에 미약한 휘광이 나타날 수 있어 정상적인 현상에 속한다).

세척 과정에서 화면에는 진공도, 가스 유량, 출력, 남은 시간 등의 매개변수가 실시간으로 표시되어 수동으로 조정할 필요가 없으며, 만약 이상 (예를 들어 진공도 미달, 가스 누출) 이 발생하면 기기가 자동으로 경보하고 정지한다.

3. 조작 후 마무리 (3분 완료, 보호기기 + 샘플)

세척 및 유압 중지:

세척시간이 끝난후 계기는 자동적으로 무선주파수전원과 기체밸브를 닫고"류압"흐름 (반응강내에 소량의 타성기체, 례를 들면 질소, 내외압력의 균형을 잡는다.) 에 진입한다.

유압이 완료된 후 (반응강 내 압력이 대기압으로 회복됨), 기기는"조작 완료"를 제시하며, 이때에야 반응강 문을 열 수 있다.

샘플 추출 및 검사:

장갑을 끼고 샘플을 꺼내 샘플의 표면 상태를 관찰한다 (예를 들어 건조한지, 잔류가 없는지, 표면 장력이 향상되었는지, 물방울 접촉각 테스트를 통해 세척 효과를 검증할 수 있다).

여러 개의 샘플을 연속적으로 처리해야 하는 경우,"샘플 준비 → 진공 흡입 → 세척"단계를 반복할 수 있으며, 기기의 총 전원을 끌 필요가 없다.

기기 종료 및 유지 관리:

모든 샘플 처리가 완료되면 가스 강철 병 밸브를 닫고"진공 펌프 정지"버튼을 눌러 진공 펌프가 완전히 정지되면 (진공 펌프의 오일 반환을 피함) 기기의 총 전원을 끕니다.

깨끗한 걸레로 반응강문 밀봉매트와 견본틀을 닦고 반응강내의 소량의 분진 (있을 경우) 을 정리하여 계기의 청결을 유지하고 사용수명을 연장한다.

플라즈마 세척기의 조작 프로세스는 표준화, 지능화, 전 과정은"버튼 조작 + 파라미터 설정"을 위주로 하며, 복잡한 기계 조절이나 화학 지식 없이 초보자가 10분이면 기본 조작을 습득할 수 있다.그"복잡도"는 주로"매개변수 선택"(예를 들면 서로 다른 샘플이 서로 다른 가스, 출력, 시간에 대응함) 에서 구현되며, 조작 절차 자체가 아니다. 샘플 재질 (하드/소프트, 내온성) 과 세척 목적 (기름 제거, 활성화, 각식) 에 따라 적합한 매개변수를 선택하기만 하면 효율적인 세척을 실현할 수 있다.