전자과학기술대학은 이미 PLUTO-T 플라즈마 세척기, PLUTO-MD 플라즈마 접착제 제거기 등을 포함한 여러 대의 플라즈마 설비를 구매하여 사용자의 피드백이 양호하다.

주로 관련된 응용은 웨이퍼 포토레지스트 제거, 전자반도체 샘플 표면 유기물 제거, 다기능 마이크로나노 구조 광대역 흡수기의 표면 처리 등이다.