기부격진플랫폼은 압축기체 (공기 또는 질소) 를 지지와 격진매체로 하는 정밀설비로서 핵심은 기체스프링과 저니시스템을 통해 환경진동을 격리하고 고정밀도장면에 안정적인 작업기면을 제공하여 과학연구와 공업 등 분야에 널리 응용된다.핵심 결론: 주류는 피동식과 능동식으로 나뉜다. 일반적인 장면은 피동식(고성 가격비, 유지 보수 간편), 나노급 정밀도 또는 열악한 진동 환경은 능동식(격진 효율이 더 높다);선형 핵심은 고유 주파수, 적재 능력과 대면 정밀도 3대 지표에 주목한다.
가스부동격진플랫폼 유지보수는 가스원시스템, 가스부동베어링, 밀봉부품 및 환경청결에 중점을 두어야 하며 구체적으로 매일 기압검사, 정기적인 윤활, 노화부품 교체 등을 포함한다.
기부격진플랫폼은 고압공기를 통해 플랫폼과 기초사이에 안정기막을 형성하고 공기정압효과를 리용하여 부상과 격진을 실현한다.구체적인 절차는 다음과 같다.
기막 형성: 압축 기원은 플랫폼과 받침대 사이의 전용 기강에 기체를 주입하여 균일하게 분포된 * 얇은 기막을 형성하여 플랫폼 주체와 받침대가 고체 접촉에서 벗어나 진동 전도 효율을 대폭 약화시킨다.
파라미터 조절: 기압 조절 모듈을 장착하여 전자 현미경, 레이저 간섭기 등 서로 다른 설비의 방진 수요에 근거하여 기막의 강도와 댐핑 파라미터를 정확하게 조절하여 맞춤형 진동 제어를 실현할 수 있다.
변위 보상: 일부 모델은 고정밀 변위 모니터링과 보상 시스템을 통합하여 센서를 통해 플랫폼의 미세한 자세 변화를 실시간으로 포착하고, 공기압 또는 전동 집행기와 함께 변위 편차를 빠르게 수정하여 운행 안정성을 한층 더 높인다.
적용 시나리오
공기부양격진플랫폼의 응용범위가 끊임없이 확대되여 현재 이미 3대 분야에 응용되였다.
과학연구실험분야: 량자얽힘관측, 원자력현미경검측, 정밀광학소자교정 등 실험에서 실험실의 지면진동과 주변설비의 소음을 격리하고 실험데터의 정확성과 중복성을 확보하여 과학연구에 안정적인 환경을 제공하는데 사용된다.
의료 및 항공 우주 분야: 고장강 MRI 장비, 항공 우주 부품 정밀 검측 기기 중 진동 격리를 통해 설비 운행 안정성을 보장하고 고해상도 의학 영상과 우주 부품 정밀도 검측의 요구를 만족시킨다.
정밀제조분야: 광각기, 웨이퍼검측설비, 가공센터 등 설비에서 가공정밀도를 보장하고 진동교란으로 인한 가공오차를 피면한다.