프로브 현미경 냉열대는 프로브 테스트와 온도 제어를 결합한 과학 기기로, 주로 반도체 부품의 고온/저온 환경에서의 전기 성능 테스트에 사용된다.-190 ℃ 에서 +600 ℃ 의 정확한 온도 조절을 실현할 수 있으며, 빠른 온도 상승/냉각 (1-200 ℃/min) 을 지원하며, 재료 소결, 용해점 분석 등 실험에 적용된다.정밀 프로브 시스템을 갖추고 직류/무선 주파수 테스트를 지원하며 칩 저항, 신뢰성 테스트 및 고온/저온 환경에서의 온도 특성 테스트를 측정할 수 있다.광학현미경과 호환되며 유체소포체, 용융소포체 등 미시적구조변화를 관찰할수 있어 광물학, 재료과학 등 분야에 적용된다.
핵심 기능은 다음과 같습니다.
광온역 제어: 액체 질소 냉각, 저항 가열 또는 반도체 냉각 (Peltier 효과) 기술을 통해 -190 ℃ 에서 1000 ℃ 의 광온역 조절을 실현한다.
탐침 전기학 테스트: X/Y/Z 3축 정밀 변위 플랫폼 (예: 변위 정밀도 ≤ 1μm) 을 장착하여 탐침과 샘플 표면 마이크로미터급 조준을 지원하여 전도율, IV 곡선 등 전기학 성능 테스트를 실현한다.예를 들어, 반도체 부품 연구에서는 다양한 온도에서 웨이퍼 레벨 샘플의 전기적 특성을 정확하게 측정할 수 있습니다.
현미경 영상 협동: 광학 투명 창 (예: 사파이어 유리) 이나 투광 구멍 설계를 통합하고, 광학 현미경, 형광 현미경 및 라만 분광기 등 설비와 호환되며, 온도 변화 과정 중 샘플의 미시적 구조를 실시간으로 관찰할 수 있다.예를 들어, 재료 과학에서는 고분자 재료가 변화하는 과정에서 결정 구조의 변화를 관측할 수 있다.
적용 시나리오
반도체 테스트: * * 온도에서 칩의 전기 성능 안정성을 평가합니다.
재료 연구: 열팽창 계수, 상변 온도 등 열물리적 특성을 연구한다.
산업 검측: 자동차 부품, 전자 부품의 내온 신뢰성 테스트.