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Shanghai Boming Scientific Instrument Co., Ltd
현미분광막 두께계는 현미경과 분광광도 기술을 결합한 고정밀 박막 두께 측정 기기이다
날짜:2025-09-03읽기 :1
현미분광막두께계는 빛의 간섭과 분광원리에 기초한 고정밀도측정기구로서 주로 박막, 웨이퍼, 광학재료 및 다층막의 두께를 비파괴적이고 비접촉적으로 측정하고 그 광학상수 (예를 들면 굴절률, 소광계수) 를 분석하는데 사용된다.
현미경 스펙트럼을 통해 미세한 영역의 스펙트럼 반사율을 측정하고, 박막의 앞뒤 표면에 광선이 여러 차례 반사되어 간섭 줄무늬가 형성될 때 분광 기술은 간섭 줄무늬를 서로 다른 파장의 스펙트럼으로 분해하고 그 강도 분포를 측정하여 알고리즘을 통해 막의 두께와 광학 파라미터를 계산한다.
현미분광막 두께계는 빛의 간섭과 분광 원리를 통해 비파괴적, 비접촉식 측정을 실현한다.광선이 박막 표면을 비출 때 박막 앞뒤 표면에 여러 차례 반사되어 간섭 줄무늬를 형성하는데, 분광 기술은 이 줄무늬를 서로 다른 파장의 스펙트럼으로 분해하여 스펙트럼 강도 분포를 측정하고 알고리즘과 결합하여 계산함으로써 박막 두께(1nm-35μm), 굴절률(n), 소광계수(k) 등의 매개변수를 정확하게 얻을 수 있다.
일반적으로 광학 시스템, 검사 시스템, 제어 시스템 및 샘플 테이블과 같은 부분으로 구성됩니다.광학 시스템은 광원을 생성하고 전송하며 샘플 표면에 초점을 맞추기 위해 광원, 분광기, 반사 물경 등을 포함합니다.검측 시스템은 일반적으로 탐지기 등으로 구성되어 반사 또는 투사 광선의 강도를 검측하는 데 사용된다;제어 시스템은 기기의 조작과 데이터 처리를 책임진다.샘플 테이블은 샘플을 배치하는 데 사용되며 샘플의 이동과 위치를 설정할 수 있습니다.
사용 시 고려 사항
환경 제어: 직사광선, 고온, 습한 환경을 피하고 광학 시스템의 습기 또는 오염을 방지합니다.
교정 및 유지보수: 정기적으로 표준 샘플 교정을 사용하고 광학 부품을 청소하여 수명을 연장합니다.
샘플 처리: 측정 전에 샘플의 표면이 평평하고 거칠음이 반사율 데이터에 영향을 주지 않도록 합니다.
데이터 보안: 데이터 저장 및 전송(예: USB, Bluetooth)을 지원하는 모델을 선택하여 후속 분석을 용이하게 합니다.
마지막 기사:환경 모니터링에서 Andor 분광기의 적용 및 효과