1. 샘플링 시스템: 용액 → 에어로졸(ICP 이온원 진입)

2. ICP 이온원: 에어로졸 → 이온(탈용, 기화, 해리, 이온)

3. 인터페이스: 이온이 진공에 들어간다(인터페이스 층, 플라즈마 전위와 이온 동력)

4. 이온은 사극대에서 질량하비에 따라 선별된다

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