일전, 청도 심생마이크로나전자과학기술유한회사(약칭"칭다오 심생") 은 가스 품질 유량 컨트롤러 (Mass Flow Controller, MFC) 방면에서 중대한 돌파를 이룩하여 오랫동안 국산 반도체급 MFC의 발전을 저해해 온 핵심 기술 장벽을 공략하고 고속 압전 비례 밸브를 기반으로 한 두 종류의 반도체급 MFC 제품을 성공적으로 개발하였으며, 제품은 매우 좋은 정밀도, 신뢰성 및 기존 제품의 5배의 안정성을 가지고 있다.

　　왜 반도체급을 발전시켜야 하는가MFC?

MFC，즉 품질 유량 컨트롤러는 유체의 품질 유량을 정확하게 측정하고 제어할 수 있는 정밀 기기로서 공정 과정의 정확성과 제품의 일치성을 확보하는 관건적인 기능 단위이다.MFC는 반도체 공정의 모든 부분에서 발휘되고 있다중요의 역할, 예를 들어, 과정 공정 (각식, 도금 등) 단계에서 혼합 기체의 각 조별 유량 및 장비 진공도에 대해 실시간 모니터링 또는 조절을 진행하여 혼합 기체의 비율이 정확하도록 확보한다;재료 세척 단계에서 공정 과정 중의 질소 가스 유량을 제어하여 청결과 건조의 효과를 확보하는 데 사용한다;초정실 등 인프라에서는 환경가스 청정도와 풍속을 장기적으로 안정적으로 제어하는 데 쓰인다.반도체 제조 과정의 안정성과 제품의 품질을 보장하기 위해 일반적으로 MFC 제품은 높은 정밀도, 높은 안정성, 높은 신뢰성, 빠른 응답을 요구합니다.

최근 몇 년 동안 일본Horiba、미국 Brooks 등 기업은 잇달아 압전 세라믹식 비례 밸브와 압전 비례 밸브를 기반으로 한 반도체급 MFC 제품을 출시하여 응답 속도를 높이는 동시에 장기 사용 중 성능 퇴화, 발열, 가스 누출 등의 문제를 대폭 낮추었다.국내의 일부 회사들은 비록 좋은 발전을 거두었지만, 그 제품은 여전히 전통적인 전자기 비례 밸브 기술을 위주로 하고, 제품력이 부족하여 반도체 업계의 고정밀도, 높은 신뢰성, 빠른 응답의 수요를 만족시킬 수 없다.일전, 고믿음직하고 쾌속적인 고품질의 압전동동식류량측정통제기술이 국외에 의해 독점되고 가격이 높으며 수시로 공급이 끊길 위험이 존재하여 국가의 중요한 반도체설비에 관건적인 핵심부품의 안전위협이 존재하게 되였다.

6년간의 중미무역전쟁기간에 우리 나라 반도체업종은 자주적혁신강도를 높이고 산업사슬의 협동발전을 추진하며 국제협력에 적극 참여하고 정책적지지와 자금투입을 획득하는 등 조치를 통해 쾌속적인 발전을 실현하였다.이와 동시에 반도체제조공정의 제고와 시장수요의 증가에 따라MFC의 국산화 수요도 꾸준히 증가할 것으로 보인다.그러므로 반도체급 MFC를 발전시키고 이 핵심부품의 국산화를 추진하는것은 국가반도체산업사슬의 안전을 보장하는데 있어서 극히 중요하다.

　S700 내부 구조도

　　청도 심생은 실력이 얼마나 되는가?

청도 심생은가스 유량 측정 제어 기술, 목표는좋아요의 반도체 부품 공급업체입니다.회사의 핵심 팀은 싱가포르에서 왔다A*STAR、독일 KIT, 청화대학, 중국과학원, 동제대학, 산동대학 등 국내외 중점과학연구대학은 핵심류량감지칩, 모듈러, 계산법, 시스템집성 등 전반 사슬의 자주핵심기술을 장악하고있다.현재 회사는 발명 23개, 실용 신형 14개, 1급 계량 증서 50여 개를 보유하고 있다;과학기술부 국가중점연구개발계획 2건, 산동성중점연구개발계획 (중대과학기술혁신공정) 1건을 담당한다."청도 심생-산동대학 센서측정통제련합실험실","청도시 가스류량측정통제기술중점실험실","청도시 가스류량측정통제기술전문가워크스테이션"연구개발플랫폼을 구축하고 연구개발작업장 800평방메터, 제조작업장 4000평방메터, 류량교정설비 100여대를 보유하고있다.IS09001, IS014001 등의 품질 관리 및 제조 인증을 받았습니다.

시장의 안정성은 제품 품질의 강력한 보장에 의존한다.다년간의 노력 끝에 청도의 심생황은 이미 형성되었다.S300 시리즈, UT 시리즈, E 시리즈 등 성숙하고 안정적인 제품 라인과 태양광, 환경보호, 의료 등 많은 분야에서 국산화 대체를 실현하여 시장의 일치된 인정을 받았다.이제 S700, DF500 두 개의 반도체 전용 유량계 제품을 추가하여 반도체 시장을 배치하기 시작했다.회사 및 제품의 우세에 대해 언급할 때 회사 창시자 도계방 박사는"본토의 센서회사로서 청도심생의 우세는 주로 다음과 같은 세가지를 포함한다. 우선, 우리의 팀은 충분히 우수하고 모든 사람은 뛰여난 능력과 풍부한 경험을 갖고있다. 다음으로 우리는 량호한 생태환경을 갖고있고 제품의 품질보증량교부는 상류파트너의 강력한 지지와 하류고객이 밀접한 협력을 유지하고있다. 마지막으로, 청도심제조회사의 연구개발에 투입되여 줄곧 높은 강도를 유지하고있다.선진적, 제조 투입은 우리 제품의 품질을 보장합니다.저가형 시장에서 내권하지 않는 것이 우리의 파국의 관건"이라고 도계방 박사는 덧붙였다.

　　청도 심생 신제품 이 등장할 것 이다2024 "반도체 및 핵심 부품 전시회"

　　"이것은 아직 턱없이 부족하다."회사의 반도체급 MFC 신제품에 대해 청도 심생회사 연구개발센터 책임자 림박사는"비록 회사가 이미 태양광시장에서 한자리를 차지하고 안정적인 주문을 획득했지만 우리의 능력과 목표는 이에 그치지 않는다. 우리는 반도체설비의 핵심부품에 대해 하나하나 난관을 돌파할것이다. 이번 S700과 DF500이 바로 그중의 중대한 돌파이다."

칭다오 심황이 새로 개발한 두 제품은 모두 고속 압전 비례 밸브 기술과 동적 압력 파동 보상 기술을 사용한다."압전비례밸브는 MFC의 핵심 제어 부품으로 유량 센서와 폐쇄 고리를 형성하여 가스 유량의 동적, 빠른 조정을 실현한다."임 박사는"현재 국내 주류의 전자기 비례밸브에 비해 압전비례밸브는 응답이 빠르고 제어 정밀도가 높으며 매우 낮은 전력 소비량과 열 소음을 가지고 있다.우리는 2021년부터 압전비례밸브의 연구 개발 작업을 진행하기 시작했으며, 현재 이미 압전 세라믹 중첩 설계, 밀봉기 구조 최적화, 밀봉 최적화 등 핵심 성능 및 밀봉 방안을 실현하여 매우 좋은 밀봉 방안을 실행하고 있다."

부동한 응용수요를 만족시키기 위해 이번 청도 심생은 다음과 같은 두가지 부동한 제품을 개발했다.

두 제품의 차별화 요소는 다음과 같습니다.DF500은 작은 트래픽 제어 방면의 정밀도, 응답 시간에서 더욱 우세하여 7nm/14nm의 첨단 제조 공정에 적합하다;S700은 일반 공정에 적합한 더 넓은 스레드 선택 및 작동 온도를 제공합니다."두 제품 모두 회사가 최근 개발한 적응형 동적 제어 알고리즘을 채택해 고객이 실제 필요에 따라 선택할 수 있다.두 MFC는 모두 반도체급 듀얼 V 소재와 EP 처리를 채택해 SEMI 요구에 부합한다"고 임 박사는 말했다."두 제품 모두 9월 25일 반도체 장비와 핵심 부품 전시회에서 전시될 예정이며, 신구 고객들이 교류하는 것을 환영한다"고 말했다.

　　요약:

반도체급에서MFC라는 코스에서 우리 나라의 연구는 비교적 늦게 시작되였고 기술과 제품은 서방국가에 얽매여 우리 나라 반도체산업의 사슬의 완전성과 안전성을 엄중히 위협하고있다.현재 칭다오 심생은 이미 0에서 1까지의 난제를 완수했고, 이어서 어떻게 1-100에서의 도약을 더 잘 실현할 것인가.청도 심생과 같은 국산 제조업체의 굴기는 국내 기술 수준의 향상을 대표할 뿐만 아니라 우리 나라가 전 세계 하이테크 분야에서 더욱 강한 경쟁력을 가질 것임을 예시한다.