칭다오 심생은 최근 여러 종류의 가스 품질 유량계와 품질 유량 컨트롤러 제품을 출시하여 MEMS 칩에서 유량 검측 계기와 알고리즘에 이르는 전체 체인 핵심 기술을 성공적으로 뚫어 칭다오시에서 MEMS 핵심 칩 기술을 보유한 몇 안 되는 하이테크 기업 중의 하나가 되었다.

국가가 국산 기기와 반도체 설비에 대한 중시와 지원에 따라 국내 분석 기기 산업, 반도체 장비 산업은 빠른 발전을 이루었다.분석기기와 반도체 장비의 핵심 부품인 가스품질유량계/컨트롤러는 현재도 수입 위주로 국산화 대체 수요가 절실하다.전통적인 차압, 터빈 등 원리의 체적형 유량계와 달리 MEMS 가스 품질 유량계는 온도와 압력 등 환경 매개변수의 영향을 받지 않는 열전도 원리에 기초하여 가스 품질 유량을 고정밀하게 측정한다.

청도 심생 S500 시리즈 가스 품질 유량 컨트롤러, *의 기체 유도 설계를 가지고 있으며, 유연한 분류비 배치를 실현할 수 있으며, 측정 거리는 1sccm~120slm를 커버하고, 최소 제어 정밀도는 0.1sccm이며, 0~50 ℃ 온도 범위 표류량은 0.4~0.6% 에 불과하다.전기신호 방면에서는 다양한 디지털 및 아날로그 제어 방식을 제공하고 공업급 디스플레이를 장착하여 고객이 현장에서 쉽게 디버깅하고 배치할 수 있도록 한다.