엑스선 현미경은 엑스선을 이용해 미시적 물체를 영상화하는 기기로, 육안으로 분간할 수 없는 미시적 구조를 확대해 관찰·연구를 할 수 있도록 한다.전통적인 CT 기술과 광학 현미경 기술을 결합해 플래시를 통해 X선 신호를 가시광선 신호로 변환하고, 광학 시스템과 고감도, 고해상도의 CCD 카메라를 이용해 디지털 이미지를 얻는다.
엑스선 현미경의 영상 원리는 광학 현미경과 기본적으로 같으며 기하 광학 원리를 따른다.그 핵심 부품은 영상과 증폭 작용을 하는 광학 소자로, X선의 파장이 매우 짧기 때문에 유리와 일반 물질 인터페이스에서의 굴절률이 모두 1에 가깝기 때문에 유리 렌즈를 사용할 수 없으며, 보통 밴드 슬라이스를 영상 증폭 소자로 사용한다.또한 흡수 라이닝과 위상 라이닝 영상을 이용하여 CCD 등 면 탐지기를 통해 X선을 탐지하여 미시적 물체에 대한 이미지를 구현한다.
주요 구조
광원: 실험실 엑스선 광원, 직선 가속기 및 동기 방사선 장치가 일반적으로 사용됩니다.실험실 광원 예를 들면 고출력 회전 양극 X선 튜브, 세초점 X선 튜브 등은 빛의 밝기가 비교적 낮다;동기 방사 광원은 평행에 가깝고 강도가 높으며 파장을 조절할 수 있는 이상적인 광원이다.
초점 소자: 자주 사용하는 다층막 반사 초점경과 밴드 필름으로 반점의 크기를 작게 하고 밝기를 높일 수 있다.모세관은 또한 모세관 내벽에서 X선의 전체 반사를 기반으로 X선의 진로를 변경하고 초점을 달성하는 초점 컴포넌트로 사용할 수 있습니다.
영상 증폭 소자: 일반적으로 주파수 대역편으로, 두 세트의 서로 다른 재료로 만든 동심 원환이 번갈아 배열되어 구성되어 있으며, X선을 영상화하고 증폭할 수 있다.
탐지기: 감광필름, 영상판, 영상증강기, 반도체탐지기(CCD) 등을 포함하며 시료가 투과된 X선을 탐지하여 기록하고 분석할 수 있는 신호로 전환한다.
유지 관리:
옵티컬 부품 유지 관리
렌즈 청소: 전용 렌즈 닦는 종이와 광학 세정제 (예: 디메틸벤젠) 를 사용하여 렌즈를 닦고, 직접 손으로 만지거나 거친 도구를 사용하지 않습니다.
오일 거울 처리: 사용 후 즉시 렌즈 닦는 종이로 매체 기름을 빨아들이고, 다시 디메틸벤젠으로 청결하고 닦아야 한다.
기계 부품 정비
가볍게 들고 가볍게 놓다: 운반할 때 한 손에는 거울팔을 쥐고 한 손에는 거울자리를 짚어 진동을 피한다.
정기 검사: 기계 부품을 단단히 하고, 마모가 심한 부품 (예: 회전대, 승강대 등) 을 교체한다