전자파 진공 고온로는 전자파 마버 난로의 가열 원리를 바탕으로 진공 고온로 설계 기술을 결합하여 형성된 신식 재료 고온 제품으로 전자파 고온의 빠른 가열과 진공 환경 처리의 두 가지 장점을 모두 고려한다. 진공 시스템의 설계 사상에 따라 상자형 진공과 기구식 진공으로 나뉜다. 전자는 보통 전자파 진공 고온로 구조이고 후자는 전자파 진공 고온관식 난로 구조이다.