실험 방안

● 테스트 샘플: 액체 포토레지스트 샘플 1부

● 테스트 장비: TGA8000-Frontier-Clarus690/SQ8T, 연결 모듈은 TL9000 모델입니다.모든 기기 및 연용 모듈은 퍼킨 엘머에서 왔다;

● 테스트 조건:

샘플 측정 방식 및 사용량: 10μL 이액총을 사용하여 끈적끈적한 액체 샘플을 제거하고, 각 테스트마다 총 3회 이동하여 세라믹 가니에 넣는다.샘플의 점도가 비교적 크기 때문에, 실제 샘플링 양은 30μL 미만이며, 샘플의 실제 품질은 열로 확정된다.