본고는 퍼킨엘머 Avio 200 센싱 결합 플라즈마 발사 분광기(ICP-OES)를 이용해 고순도 석영사 시료의 다양한 불순물 원소를 측정하는 분석 방법을 소개하고 이를 체계적으로 검증했다.그 결과, 이 방법은 뛰어난 정확도와 양호한 정밀도를 가지고 있으며, 2개의 샘플의 결과값은 모두"GB/T 32649-2016 태양광용 고순도 석영사"기준 중 13가지 불순물 원소에 대한 제한값 요구를 만족시켜 고순도 석영사 샘플 중 흔적 원소에 대한 정확한 측정을 실현하였다.