진공 누출은 플라즈마 세척기의 안정성에 영향을 주는 핵심 문제이며, 그 위치는 검사 방법과 장비 특성을 결합하여 종합적으로 판단해야합니다.

헬륨 스펙트럼 누출 검사법

분자펌프 챔버와 같은 고진공 시스템에 적용되며, 챔버에 0.1MPa 헬륨가스를 충전하여 누출검사기로 플랜지 인터페이스, 관찰창, 가스로 솔레노이드 밸브 등을 스캔한다.헬륨 가스 누출이 감지되면 볼트를 단단히 하거나 Pfeiffer 진공 펌프 씰과 같은 불소 고무 O 코일을 교체해야합니다.예를 들어 어떤 설비는 예비 진공실 격리문 밀폐코일이 노후화되어 진공도가 1 × 10 ⁻Pa에 도달하지 못하고 교체 후 회복된다.

압력 감쇠 테스트

기계식 펌프 캐비닛과 같은 중저진공 시스템에 적용되며 진공 펌프를 끈 후 1시간 이내에 압력 상승이 기록됩니다.만약 승률> 0.5Pa/h의 경우, 진공 규관 교정 또는 강벽 오염 상황을 검사해야 한다.어떤 사례에서는 강체내의 벽에 유기물이 흡착되여 가상루출을 초래하여 플라스마를 세척한후 압력승률이 0.2Pa/h로 내려갔다.

진동신호분석법

진공펌프가 작동할 때의 진동신호를 채집하여 부동한 주파수분량으로 분해하고 루출점을 확정한다.예를 들어, 장치가 진공 밸브 연결 튜브의 느슨함으로 인해 120Hz 진동 신호가 발생하여 단단해지면 누출이 제거됩니다.

2. 플라스마 점화 실패 원인 분석

플라즈마 점화 실패는 일반적으로 전원, 가스 회로 또는 일치 시스템 이상으로 인해 발생하며 다음 논리에 따라 조사해야 합니다.

무선 주파수 전원 장애

출력 없음: 50 ° 가짜 부하로 무선 주파수 소스를 테스트하고 출력 표시가 0이면 무선 주파수 모듈 (예: IGBT 튜브 교체) 을 수리해야 합니다.정상적으로 표시된 경우 무선 주파수 케이블의 단락 또는 캐비티 오염 여부를 확인합니다.

반사 전력 과다: 일치하는 네트워크 커패시터 블레이드 위치를 조정하여 반사 전력 < 5% 입사 전력.한 사례에서는 매칭기 커패시터의 초기 위치 오프셋으로 반사 출력이 30% 에 달해 재조정 후 점화에 성공했다.

가스 회로 시스템 이상

기압 부족: 기원 압력이 0.4-0.6MPa 범위 내에 있는지 검사하고, 감압 밸브를 조절하여 유량계 표시 값이 공정 요구에 일치하도록 한다.예를 들어, Ar 가스 압력이 너무 낮음 (0.2MPa) 으로 인해 플라즈마가 유지되지 않고 조정되면 장치가 복원됩니다.

가스로 막힘: 가스 스프레이 디스크를 분해하고 압축 공기로 구멍을 청소하여 폴리머 잔류를 제거합니다.어떤 사례에서는 분사공이 막혀 기체의 분포가 고르지 못하여 세척한후 점화의 안정성이 제고되였다.

전극과 매칭 시스템

전극 오염: 사포로 전극 표면 산화층을 다듬거나 새로운 전극을 교체합니다 (예: 알루미늄 기재 전극 수명 약 2000시간).

고주파 아크 고장: 불꽃 방전기 오봉 간격 (표준치 0.5mm) 을 검사하고, 간격이 너무 크면 조절해야 한다;만약 오봉이 부식되면 교체해야 한다 (예를 들면 어떤 설비가 오봉의 간격이 1mm에 달하여 고주파로 호를 끌어들일 수 없게 되면 조정 후 회복한다).

3. 종합 진단 사례

모 진공플라즈마세척기에"무플라즈마출력"경고가 나타났는데 조사를 거쳐 다음과 같이 발견하였다.

진공 누출: 압력 감쇠 테스트에서 상승률은 0.8Pa/h로 나타났으며, 헬륨 누출 검사는 분자 펌프 플랜지 밀봉 코일이 노화되어 교체 후 진공도가 회복되었다.

무선 주파수 정합 이상: 반사 출력이 15% 에 달하고, 정합 네트워크 커패시터 날개를 조정한 후 3% 로 감소한다.

전극 오염: 상단 전극 표면에 검은 폴리머를 덮고 사포로 연마한 후 플라즈마 밀도가 40% 향상됩니다.

체계적인 조사를 통해 설비가 안정적인 운행을 회복하여"진공-전원-가스로"3차원도진단정책의 유효성을 검증하였다.