현상: 프로브가 웨이퍼나 칩의 테스트 포인트에 정확하게 접촉하지 못하여 테스트 데이터가 이상합니다.

1. 기계구조 점검(5분)

X/Y/Z 축 느슨함:

탐침대 테이블이나 탐침팔의 잠금 나사가 느슨한지 확인하십시오.

나사를 단단히 한 후, 천분표로 테이블 반복 위치 정밀도를 측정한다.

레일 고정:

레일을 청소하고 약간의 윤활유를 발라라.

테이블을 수동으로 밀어 넣고 끊기거나 이상한 소리가 나는지 확인합니다.

2. 광학 시스템 교정(10분)

현미경 초점 오프셋:

현미경 물경의 높이를 조정하여 웨이퍼 표면의 선명한 이미지를 확보한다.

보정 슬라이스 (예: 10μm 선가중치의 금속 메쉬) 를 사용하여 초점 정확성을 검증합니다.

CCD 카메라 오프셋:

소프트웨어에서 카메라 보정 기능을 실행하여 프로브와 이미지의 좌표계를 재지정합니다.

카메라 연결선이 느슨한지 확인하십시오.

3. 소프트웨어 매개 변수 재설정 (5분)

좌표계 오류:

제어 소프트웨어에서 좌표계 재설정을 클릭하여 원점을 재정의합니다.

소프트웨어에서 프로브 보정 값이 잘못 수정되었는지 확인합니다.

모션 컨트롤 카드 장애:

모션 컨트롤 카드를 재부팅합니다 (전원을 끈 후 1분 정도 기다렸다가 켜십시오).

펌웨어를 최신 버전으로 업데이트합니다.

2. 접촉 불량: 신속한 진단과 수리

현상: 탐침과 시험점의 접촉이 불안정하여 저항치의 파동을 초래하거나 길을 열어준다.

1. 프로브 상태 점검(5분)

프로브 마모:

현미경으로 탐침의 바늘끝을 관찰하여 구부러짐, 산화 또는 마모가 있는지 검사한다.

마모 프로브 (예: 텅스텐 강철 또는 베릴륨 구리 재질의 프로브) 를 교체하십시오.

프로브 카드 변형:

탐침카드가 구부러졌는지 검사하고 변형이 0.1mm를 초과하면 교체해야 한다.

클렌징 프로브 카드.

2. 접촉 압력 조절(10분)

과대 / 과소:

압력 측정기를 사용하여 프로브 접촉력을 측정하며 기준치는 2-5g입니다.

프로브 암의 스프링 장력을 조정합니다 (시계 방향으로 회전하면 압력이 증가하고 반시계 방향으로 감소).

테이블 불공평:

수평계로 테이블의 수평 여부를 검사하다.

테이블 아래의 지지 나사를 조정합니다.

3. 환경 간섭 제거 (5분)

정전기 영향:

접지선이 잘 연결되어 있는지 확인하십시오.

이온풍기를 사용하여 정전기를 중화시키다.

진동 간섭:

프로브를 무진동 영역으로 이동합니다.

테이블 아래에 방진 패드를 놓다.

3. 이미지 불명확성: 빠른 최적화와 복구

현상: 현미경이나 카메라의 영상이 뚜렷하지 않아 탐침의 위치확정정밀도에 영향을 준다.

1. 옵티컬 어셈블리 클리닝 (5분)

물경 오염:

풍선을 불어 거울 표면의 먼지를 제거한 다음 면봉에 소량의 광학 세정액을 묻혀 닦는다.

물경이 느슨한지 검사하다.

라이트 감쇠:

광원 밝기를 조정하고 노후화된 전구를 교체합니다.

광원 연결선이 느슨한지 확인합니다.

2. 이미징 매개변수 조정(10분)

초점이 정확하지 않음:

이미지가 가장 선명할 때까지 수동으로 현미경 초점 조절 버튼을 회전합니다.

소프트웨어에서 자동 초점 기능을 활성화합니다.

명암비 부족:

카메라 이득과 노출 시간을 조정합니다.

편광편을 사용하여 반사를 줄이다.

3. 소프트웨어와 하드웨어의 협력 (5분)

이미지 처리 카드 장애:

이미지 처리 카드를 재부팅합니다 (전원을 끈 후 1분 정도 기다렸다가 켜십시오).

드라이버를 최신 버전으로 업데이트합니다.

카메라 해상도가 일치하지 않습니다.

하드웨어 매개변수와 일치하도록 소프트웨어에서 카메라 해상도를 설정합니다.

카메라 프레임 속도가 너무 낮은지 확인하십시오.

4. 종합검사와 예방

1. 일일 유지 보수 목록

프로브대 표면을 청소하다.

탐침 상태를 검사하다.

자체 검사 프로그램을 실행합니다.

2. 자주 발생하는 장애 예방

프로브 마모: 테스트당 5000회 프로브를 교체합니다.

접촉 불량: 정기적인 클리닝 프로브 카드 (월 1회).

이미징 불명확성: 매분기 옵티컬 시스템 (물안경 및 카메라 포함) 을 교정합니다.

3. 긴급 상황 처리

탐침 파열: 즉시 테스트를 중지하고 핀셋으로 단침을 꺼내 새 탐침을 교체합니다.

스탠드 중단: 전원을 끄고 측면의 비상 해제 버튼과 같은 레일 잠금 장치를 수동으로 해제합니다.

소프트웨어 충돌: 컴퓨터를 강제로 재부팅(전원 키를 5초 동안 누르고 있음)하고 백업 프로필을 복원합니다.

요약: 기계, 전기, 광학 및 소프트웨어 문제를 단계별로 조사하여 30분 이내에 탐침대의 위치가 정확하지 않고 접촉이 불량하며 영상이 모호한 고장을 해결할 수 있습니다.정기적인 유지 관리 및 예방 점검을 통해 고장률을 크게 낮추고 테스트 안정성을 보장합니다.