1. 자기 제어 사출 기술 개요

자기제어 사출은 고에너지 이온을 표적재 표면에 충격해 표적재 원자나 분자가 튀어나오도록 자극한 뒤 기상침적 방식으로 기판에 침적해 박막을 형성하는 기술이다.전통적인 증발퇴적기술에 비해 자기제어사출은 비교적 낮은 온도에서 고품질의 박막의 퇴적을 실현할수 있으며 막층의 균일성이 좋고 두께의 통제성이 강하다.

자기 제어 사출기는 자기장의 작용을 통해 사출원 중의 전자를 속박하여 전자와 기체 분자 사이의 충돌 횟수를 증가시켜 이온원의 유효성을 높이고 사출 속도를 강화한다.이 과정의 장점은 금속, 반도체, 절연체 및 복합재료 박막 등 다양한 종류의 박막을 퇴적할 수 있기 때문에 광학 박막 제조에서 응용 장점이 있다.

2. 역할

(1) 박막의 품질 제어

광학 박막의 질량은 그 성능을 직접적으로 결정하는데, 특히 반사율, 투과율, 반사 방지, 오염 방지 등 방면에서 더욱 그렇다.이는 사출출력, 기체류량, 작업기압 및 기판온도 등 매개 변수를 정확하게 통제함으로써 박막의 두께, 밀도, 균일성 등 관건적인 지표를 정확하게 조절할수 있다.예를 들어, 반사 방지 필름을 제작할 때 자기 제어 사출기의 정밀 조절을 통해 필름층이 우수한 광학 성능을 가지게 하여 불필요한 광학 손실을 줄일 수 있다.

(2) 다층막의 제조

광학 응용에서, 특히 광학 코팅, 필터, 간섭 필터 등 분야에서는 종종 다층 구조의 박막을 제조해야 한다.이는 부동한 재료층을 교체하여 침적하는 방법을 통해 부동한 박막재료의 침적을 정확하게 실현할수 있으며 제조과정에서 각 층막의 질량과 두께를 모두 정확하게 통제할수 있다.이 특징은 다기능 자기 제어 사출기가 광학 박막 제조에서 대체할 수 없는 역할을 발휘하게 한다.

(3) 고속 고효율의 퇴적 속도

비교적 높은 사출 속도를 갖추어 박막의 퇴적 과정을 더욱 효율적으로 할 수 있으며, 특히 대규모 생산 응용에 적합하다.광학 박막을 생산할 때, 생산 효율을 높이는 것은 매우 중요하며, 자기 제어 사출기의 고효율 성능은 생산 주기를 단축하고 원가를 낮출 수 있다.

(4) 막층의 구조 조절

박막의 두께와 균일성을 제어할 수 있을 뿐만 아니라 분위기, 출력, 온도 등 사출 매개변수를 조절하여 박막의 미시적 구조를 제어할 수 있다.예를 들어 사출 전력과 기체의 비율을 바꾸면 막층의 응력과 결정 구조를 조절할 수 있어 광학 박막의 굴절률, 흡수율, 내구성에 영향을 줄 수 있다.

(5) 정확한 막층 조합

다층막에 대해 자기제어사출기술은 부동한 물질의 정확한 조합을 실현할수 있다.예를 들어, 광학 박막 시스템은 종종 금속, 산화물, 질소화물 등 재료의 다중 조합을 필요로 하며, 자기 제어 사출기는 서로 다른 표적재와 기체의 배합 비율을 유연하게 선택함으로써 막층 사이의 인터페이스 품질과 광학 성능을 정확하게 제어할 수 있다.

3. 응용분야

(1) 태양광 산업

태양전지의 제조에서 광학박막의 성능은 전지의 효률에 극히 중요한 역할을 한다.반사막, 항반사막, 투명전도막 등 각종 박막을 제조하는데 사용할수 있는데 이런 박막층의 제조는 높은 광학성능과 내구성을 요구하며 자기제어사출기술은 요구에 부합되는 박막을 제공할수 있다.

(2) 레이저 장치

레이저 설비의 광학 부품, 특히 레이저의 광학 박막은 양호한 광학 전송 성능과 비교적 높은 레이저 손상 임계값을 갖추어야 한다.자기 제어 사출 기술은 고품질의 반사막과 투사막을 제조하여 레이저 설비의 안정성과 고효율을 보장할 수 있다.

(3) 디스플레이 기술

현대 디스플레이에 사용되는 광학 필름, 특히 반사 필름과 투사 필름도 자기 제어 사출 기술의 높은 정밀도와 높은 효율에 의존한다.자기 제어 사출을 통해 필름을 제조하면 디스플레이가 더 좋은 광학 성능과 더 높은 밝기를 가질 수 있다.