3차원 표면 윤곽계물체 표면의 3차원 형상을 고정밀도로 측정하는 데 사용되는 정밀 계량 기기로 전자, 자동차, 반도체, 재료 과학 및 공업 검측 등 분야에 널리 응용된다.

　　3차원 표면 윤곽계의 성능은 관건적인 기술매개 변수에 의해 결정되며 부동한 응용장면은 매개 변수에 대한 요구차이가 뚜렷하므로 선택구매할 때 다음과 같은 지표에 중점을 두어야 한다.

1. 측정 범위:

가로 범위 (X/Y축, 측정 가능한 샘플의 * 큰 크기를 결정) 및 세로 범위 (Z축, 측정 가능한 표면의 * 큰 높이 차이를 결정) 가 포함됩니다.

2. 해상도:

세로 해상도: 표면의 미세한 고도차를 구분하는 능력을 측정하는 것이 핵심 지표입니다.

가로해상도: 표면의 미소한 가로특징을 구분하는 능력을 측정하는데 이는 광학계의 물경배률, 탐측기 화소와 관련된다.

3. 측정 정밀도:

일반적으로 선형 오차 (Z축 변위의 선형도), 반복 오차 (같은 위치의 편차를 여러 번 측정함), 평면도 오차 (평면의 측정 편차를 교정함) 를 포함하는 측정 결과와 실제 값의 편차를 나타냅니다.

4. 측정 속도:

스캔 방법 (점별 스캔, 선 스캔, 면 스캔) 및 데이터 처리 효율성에 따라 다릅니다.

패브릭 광 프로젝터: 면 스캔, 속도 * 빠름 (밀리초급, 온라인 테스트용);

원자력 현미경: 점별 스캔, 속도 * 느림 (분급, 오프라인 정밀 분석에 적합);

백광 간섭기: 선 스캔, 중간 속도 (초급에서 분급까지, 정밀도와 효율을 모두 고려).

5. 샘플 호환성:

시료의 재질 (금속, 비금속, 투명/불투명, 전도성/절연), 크기 (시료대 적합 여부), 표면 상태 (매끄러움/거칠음, 건조/습윤) 를 포함한다.