하나,자동 균일 접착제 현상기작동 원리: 물리와 화학 과정의 정밀한 협동

자동 균일 접착제 현상기는 접착제, 열처리, 현상 등 3대 핵심 절차를 통해 광각 공정에서 광각 접착제의 균일 코팅, 고화 및 도안 현상을 완성하는데 그 원리는 다음과 같은 부분으로 분해할 수 있다.

접착제 공예

점적접착제와 회전도료: 고정밀도펌프는 정량광각접착제를 정원중심에 떨어뜨리고 진공흡판은 정원을 고정한후 고속회전 (회전속도 0-10000rpm, 정밀도 ± 1rpm) 하여 원심력을 리용하여 광각접착제를 균일하게 전개시켜 나노급접착제를 형성한다.예를 들어, 중국 전기과 45개 DYX-640S 모델은 동적 회전 코팅법을 통해 4/6인치 웨이퍼 필름 두께 파동 ≤ 3% 를 실현한다.

가장자리 제거 세척: 가장자리 광각 접착제 제거 기능은 웨이퍼 가장자리의 여분의 접착제를 제거하여 후속 공정의 오염을 방지한다.삼하건화고과 DYX-840S와 같은 일부 설비는 포토레지스트 점도 ≤ 1000Cp를 지원하며 저점도 재료 처리에 적합하다.

열처리 공정

연홍(Pre-bake): 80~120 ℃ 에서 구워 포토레지스트 중 일부 용제를 증발시켜 내응력을 줄이고 필름이 균열되는 것을 방지한다.열판은 구역별 온도 제어 기술을 채택하여 온도 균일성이 ± 0.5 ℃ (50-100 ℃) 에 달한다.

후면 건조(Post-bake): 노출 후 건조(110-140 ℃), 주파 효과 감소, 화학 반응 촉진, 패턴 해상도 향상.

하드베이크(Hard-bake): 현상 후 구이(150~180℃), 포토레지스트를 더욱 고화시켜 부식 방지성을 강화한다.

현상 공예

현상액 살포: 노즐 (기둥형 또는 H형) 을 통해 현상액 (예: TMAH) 을 웨이퍼 표면에 균일하게 분사하고, 회전 현상 (100-500rpm) 을 통해 현상액이 포토레지스트와 화학반응을 일으켜 노출 또는 미노출 영역을 용해한다.

헹구고 말리기: 이온제거수로 웨이퍼를 세척하고 잔류현상액을 제거한후 고속으로 털어낸다.현상액 공급 정밀도는 ±0.1ml이며, 현상 시간과 온도는 과현이나 미현을 피하기 위해 정확하게 제어해야 한다.

2.자동 균일 접착제 현상기구조적 특징: 모듈식 설계 구동 유연성과 효율

자동 균일 접착제 현상기의 모듈식 아키텍처는 독립형 기능 유닛의 조합과 확장을 통해 여러 장면의 적합성을 실현하는 핵심 혁신 포인트입니다.

기능 유닛 독립 실행형

고무칠단위: 고정밀도 접착장치와 동적회전플랫폼을 갖추어 100-6000rpm의 무급속도조절을 지원한다.예를 들어, 상하이 맥코웨이 P9006형 설비는 2개의 균일 접착제 유닛을 배치하여 서로 다른 점도의 포토레지스트를 동시에 처리할 수 있다.

현상 단위: 다방향 분사 시스템과 액막 모니터링 센서를 통합하여 현상액 분포 편차를 5% 이내 (6인치 웨이퍼) 로 제어한다.

열처리 유닛: 4개의 구이 유닛과 3개의 냉각 유닛을 포함하며, 온도 제어 범위는 실온에서 250 ℃ 까지를 커버하고, 운모 가열 필름으로 가열하며, 온도 균일성 ± 1 ℃ (50-120 ℃) 이다.

확장성 및 호환성

적절한 웨이퍼 크기: 모듈을 추가하여 생산 능력을 향상시키는 2-12인치 웨이퍼 처리를 지원합니다.예를 들어, DYX-640S 모델에는 로봇 손 1세트, 균일 접착제 2세트, 현상 2세트가 표준으로 장착되어 있으며, 하루 평균 처리량은 4인치와 6인치 웨이퍼 생산라인에 적용된다.

공정 호환성: g선, i선 및 일부 KrF 접착제를 지원하여 130nm 공정 기술 수요를 만족시킨다.AC200-PP-CTM과 같은 일부 장치는 100개의 프로그래밍 가능한 공정 단계를 제공하며, 백워싱, 모서리 제거와 같은 개인화 기능 사용자 정의를 지원합니다.

환경 제어 및 지능화

전폐쇄설계: 건습분리구조와 전기액분리설계로 교차오염을 방지한다.옵션 배층 스트림 커버(FFU)는 Class 100 표준까지 로컬 청결도를 향상시킵니다.

자동화 제어: 산업용 PLC 제어 시스템을 탑재하고 200개 이상의 공정 매개변수 조합을 저장하며 이상 경보 메커니즘 (32가지 유형의 설비 상태 모니터링 지점) 과 데이터 추적 기능 (전자 배치 기록) 을 지원한다.

로봇 손 전송: 수입 다관절 양팔 로봇 손은 각 유닛 간의 웨이퍼 고정밀 전송 (위치 정밀도 ± 0.1mm) 을 실현하여 인위적인 오차를 줄인다.