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Jiangsu Leibo Scientific Instrument Co., Ltd
NATURE 발문부터 고효율 실험까지 레보코의 균일 접착기는 어떻게 과학 연구 돌파를 돕습니까?
날짜:2025-12-23읽기 :2
전통적인 설비는 고속으로 회전하여 도포할 때 막의 두께가 고르지 못하고 열건조온도의 파동이 큰 등 문제가 쉽게 나타난다.레보코의 균일 접착제 캐비닛은 나노 압인 공정에서 우수한 균일성을 유지할 수 있도록 특수 설계되었습니다.
A. 균일 접착제 균일성:8인치 웨이퍼，BKM은최대 데이터±1.1%。
4인치 웨이퍼 BKM 데이터: 슬라이스 내 ±0.49%, 슬라이스 간 ±0.55%.
6인치 웨이퍼BKM 데이터: 영화 내 ±0.76%, 영화 간 ±0.91%.
8인치 웨이퍼BKM 데이터: 영화 내 ±0.92%, 영화 간 ±1.10%.
B. 패널 균일성：8/12인치 원형 영역 내，BKM은최대 데이터≤±1%(온도 해상도: 0.1 ℃,온도 조절 정밀도: ±0.2 ℃,선형 온도 상승 범위: 0.5 ℃/min~10 ℃/min, 선형 영역 내）
AC200 균일 접착기(사용자 정의 기계)
AZ 5214E의 이 접착제에 대해 8인치 슬라이스 2µm 필름 두께, 레보코의 AC200 균일 접착기는 뛰어난 균일성을 유지할 수 있다:
슬라이스 내 균일성:BKM 0.54%，슬라이스 간 균일성:1.14%。
4인치 웨이퍼 균일성: ±0.39%
8인치 웨이퍼 균일성: ±1.3%
1.강체용HDPE 소재(PP보다 내산성 및 알칼리성 우수)。
2. 플라스틱 캐리어 디스크 선택PPS 재료(내화학부식성은 PP보다 우수하며 고온과 고습도 조건에서 PP보다 더 좋은 절연성을 가지고 있으며 난연소 성능이 우수하다.)
3.스핀들 모터는 고정밀 서보 모터를 사용, 자체 연구 제어 알고리즘과 함께 높은 회전 속도 (10000rpm) 에서도 가능안정적 유지1rpm 미만의 편차및안정적인 가속도 출력。
4.차단 방지 접착제 설계, 대용량 집액병 대폭유지 보수 기간 연장(같은 사용 빈도에서 우리 회사는 1월에 한 번).
5.폐기 처분과 환풍은 독립적으로 분리된다.오염이 양풍관로에 영향을 주지 않도록 해야 한다.
6.장치 분리 / 분리 가능더 많은 애플리케이션 환경에 적합합니다.
7.표준 무유 진공 펌프, 진공 구축은 더 이상 압축 공기 등으로 들어갈 필요가 없다.
8. 편평한 UI 디자인,원클릭 작동 모드, 매우 쉽고 운영 학습 비용이 거의 없습니다.
9. 약액 밸브 선택일선 수입브랜드 CKD, 소금정등, 액체 공급과 회수 흡입은 안정적이고 믿을 만하다 (맞춤형 모델).
10.반자동화 플랭크 암정점, 진동, 슬라이딩을 위한 다양한 스풀 방식 (사용자 정의 모델) 을 구현할 수 있도록 설계되었습니다.
11.가족화 통일된 스타일의 외관 디자인, 케이스 분사 공예,내부성。
