현미경 박막 두께계의 응용

1. 반도체와 전자정보

반도체 제조에서 이 기기는 웨이퍼에 있는 각종 박막의 품질을 감시하는 핵심 도구이다.포토레지스트, 산화층 (SiO₂), 질화규소 (SiN₄) 등 박막의 나노급 두께 및 전체 웨이퍼 균일성을 비접촉·고정밀으로 측정할 수 있다.MEMS (마이크로컴퓨터 전기 시스템) 의 경우, 이 기술은 센서, 마이크로미러 및 무선 주파수 부품에 0.1나노미터급의 필름 두께 해상도를 제공할 수 있으며, 마이크로미터급의 빗살 구조 측정을 지원하는 것이 부품의 마이크로화 양률을 보장하는 관건이다.

2. 평면 디스플레이와 광학 도금

디스플레이 패널 생산 라인에서는 ITO (투명 전도성 필름), 컬러 필터, OLED 기능층 등 핵심 투명 필름의 두께 균일성을 측정하는 임무를 맡고 있다.광학 분야에서도 이 장비는 증투막, 하드코팅, 각종 필터의 도금 과정을 모니터링하여 렌즈나 휴대전화 화면 등 광학 소자의 성능이 표준에 도달하도록 보장하는 데 널리 사용된다.

3. 신에너지, 신소재와 생물의학

이 기술은 배터리 안전에 필수적인 리튬이온 배터리 분리막의 두께 균일성을 검증하는 데도 사용됩니다.실험실에서는 그래핀과 칼슘 티타늄 광산의 광학 상수 측정과 같은 새로운 재료의 개발에 정확한 분석을 제공합니다.생의학 분야에서는 이식물 코팅과 콘택트렌즈의 두께, 생체 칩의 민감한 막층을 정확하게 측정할 수 있는 무손실 측정의 특성이 있다.