스캐닝 렌즈 플라즈마 세척기는 스캔용 전자 현미경 (SEM) 샘플 준비로 설계된 효율적인 세척 장비.이 기계는 플라즈마 기술을 이용해 활성 기체의 자극을 통해 시료 표면의 유기 오염물과 미세먼지를 제거하고 현미경 관찰에서의 시료의 청결과 고품질 영상을 확보한다.

스캐닝 렌즈 플라즈마 세척기의 작동 원리는 주로 플라즈마의 화학 반응과 물리적 작용에 기초한다.고주파 전자장을 통해 작업 기체를 자극하여 기체 분자를 이온화하고 고에너지 플라즈마를 생성한다.이 플라즈마들은 전기장 작용하에 충분한 에너지를 얻어 주위의 기체 분자와 충돌하여 더 많은 고에너지 활성 입자를 생성한다.이러한 고에너지 입자는 처리 대기 재료 표면과 충돌하여 표면에 부착 된 오염 물질을 충돌시키고 표면에서 분리함으로써 표면 청결의 목적을 달성합니다.이와 동시에 플라즈마중의 활성립자와 재료표면에서 화학반응이 발생하여 휘발성물질을 생성하고 오염물을 쉽게 제거할수 있는 형식으로 전환시켜 표면을 한층 더 정화할수 있다.