RIE는반응 이온 부식기진공시스템에서 분자기체 플라스마를 이용하여 부식하는 것이다. 이온유도화학반응을 이용하여 각방향이성부식을 실현한다. 즉 이온에너지를 이용하여 부식된 층의 표면에 쉽게 부식되는 손상층을 형성하고 화학반응을 촉진하는 동시에 이온은 표면생성물을 제거하여 깨끗한 부식표면을 드러내는 작용을 한다.

　　RIE는반응 이온 부식기유지 관리 방법:

1. 정기적으로 내외면을 청소한다.적합한 세정제와 연포를 사용하여 진공실, 전극, 이온원 및 기타 핵심 부품을 청소합니다.

2. 설비의 각종 매개 변수와 센서를 정기적으로 검사하여 정확성과 정밀도를 확보한다.교정에는 이온빔에너지, 이온빔의 균일성, 기체류량, 무선주파수출력 등 매개 변수의 검사와 조정이 포함된다.

3. 사용 과정에서 설비의 핵심 부품, 예를 들어 이온원, 전극과 진공실 등을 보호하는 데 주의해야 한다.과도한 전력과 과도한 이온 빔 에너지를 사용하여 부품의 손상이나 과도한 마모를 방지합니다.반드시 적당한 기체와 화학품을 사용하여 설비를 부식하거나 손상시키지 않도록 해야 한다.

4. 설비를 조작할 때 관련 안전 조작 규정과 조작 매뉴얼을 준수해야 한다.안전 안경, 장갑, 보호복과 같은 개인 보호 장비를 사용하십시오.장비 주변의 작업 영역이 깨끗하고 장애물이 없는지 확인하고 손상되거나 부적합한 부품과 용품의 사용을 피합니다.

5. 진공 시스템, 가스 공급 시스템, 무선 주파수 전원 공급 장치 및 제어 시스템의 작동 상태를 검사하는 등 정기적으로 장비 검사를 수행합니다.마모되거나 노후화된 부품을 검사하고 교체하여 설비의 정상적인 운행을 확보하다.