1. 기기 준비

• 전원 켜기 전 검사: 아르곤가스, 헬륨가스의 공급이 충족하고 냉각수의 순환이 정상적이며 통풍시스템이 켜지고 진공펌프가 안정적으로 운행되도록 확보한다.
• 장치 켜기: 전원, 순환 냉각수, 가스 밸브를 켜고 컴퓨터를 시작하고 ICP-MS 제어 소프트웨어를 실행합니다.

2.계기 예열 및 조정

• 예열: 기기가 작동한 후 최소 30분 동안 예열하여 플라즈마의 안정을 확보해야 한다.
• 조화: 튜닝액 (예: Li, Y, Ce, Tl, Co 혼합 용액) 을 사용하여 계측기를 튜닝하고, 감도, 산화물 및 이중 전하 이온 생산율 등의 매개변수를 최적화하여 계측기의 성능이 최상의 상태에 도달하도록 보장합니다.

3. 샘플 준비

• 샘플 처리: 시료는 희산 수용액 (예: 2% HNO여야 하며, 불산, 유기물 및 미세먼지가 함유되어 있지 않아야 한다.고체 샘플은 분해 등의 방법을 통해 액체 상태로 전환해야 한다.
• 희석: 미지의 농도 샘플은 오염 검출기를 피하기 위해 100ppb 미만과 같은 적절한 범위로 희석해야합니다.

4. 표준 용액 및 내표 준비

• 표준 용액: 분석 원소 범위에 따라 0.1ppb~50ppb의 표준 용액을 조제하여 교정 곡선을 만드는 데 사용한다.
• 내표 용해액: 측정할 요소의 이온화 특성과 비슷한 내부 레이블 요소(예: In, Bi, Rh)를 선택하여 베이스 효과와 신호 이동을 교정합니다.

5. 샘플 분석

• 매개변수 설정: 요소 목록, 적분 시간, 샘플링 깊이 등을 포함하여 소프트웨어에서 분석 방법을 설정합니다.
• 샘플링 분석: 샘플을 자동 샘플링기에 넣고 분석 시퀀스를 시작합니다.플라즈마 상태를 관찰하여 안정적인 운행을 확보하다.
• 데이터 수집: 기기가 자동으로 이온 신호를 채집하여 질량 스펙트럼을 생성한다.

6. 데이터 처리 및 보고

• 데이터 처리: 소프트웨어를 사용하여 배경 공제, 정량 분석을 하고 교정 곡선을 생성하며 샘플 농도를 계산합니다.
• 결과 검증: 레이블 회수, 평행 샘플 분석 등의 방법을 통해 결과의 정확성을 검증한다.
• 보고서 생성: 샘플 정보, 실험 조건, 분석 결과 및 품질 제어 데이터를 정리하여 보고서를 생성합니다.

7. 기기 유지 보수

• 전원 끄기: 분석이 완료되면 이온 제거 물로 시스템을 씻고 플라즈마, 가스 및 냉각수를 끄고 마지막으로 전원을 끕니다.
• 일상적인 유지 관리: 정기적으로 분무기를 세척하고 펌프관을 교체하며 기체의 순도와 냉각수의 수질을 검사하여 기기가 장기적으로 안정적으로 운행되도록 확보한다.