ICP 질량계환경 모니터링, 생물의학, 지질 탐사 등 분야에서 중요한 역할을 하는 민감도 높은 분석 기기이다.

　　ICP 질량계전자기장에서 전기 입자가 편전될 수 있는 원리를 바탕으로 전감 결합 플라즈마(ICP) 기술과 질량 스펙트럼(MS) 기술을 결합해 원소 분석을 한다.샘플은 먼저 고온의 플라즈마 횃불 튜브에 도입되어 샘플 기체가 이온화되어 많은 입자를 형성하는데, 그 중 측정할 원소의 이온화 부분이 분석 대상이다.이러한 이온은 순화되어 추출된 후 질량 분광기 부분에 도입되는데, 질량 분광기에서 이온은 그 질량 하비 (m/z) 에 따라 분리되며, 서로 다른 질량 하비의 이온은 전장과 자기장의 작용하에 서로 다른 경로를 따라 운동한 후 측정기에 도착하여 전기 신호가 검출되고 소프트웨어에 기록되며, 나아가 샘플의 각 원소의 성질과 함량 정보를 도출한다.

ICP 질량분석기의 비교적 중요한 응용은 동위원소를 분리하고 그들의 원자질량과 상대풍도를 측정하는것이다.원자의 질량을 측정하는 정밀도는 화학측정방법을 초과하며 약 3분의 2 이상의 원자의 질량은 질량분광방법으로 측정한다.질량과 에너지의 당량 관계로 인해 핵구조와 핵결합에너지에 관한 지식을 얻을 수 있다.광석에서 추출할 수 있는 방사성 붕괴 산물 원소의 분석 측정을 통해 광석의 지질 연대를 확정할 수 있다.

질량 스펙트럼 방법은 유기화학 분석, 특히 미량 불순물 분석에 사용되며 분자의 분자량을 측정하여 화합물의 분자식과 분자 구조를 확정하는 데 믿을 만한 근거를 제공할 수 있다.화합물은 지문과 같은 특수 질량 스펙트럼을 가지고 있기 때문에 ICP 질량 스펙트럼은 산업 생산에서도 널리 응용됩니다.