"화학기계망 업계 동태"레이저 간섭 측정은 레이저를 광원으로 레이저 파장 또는 레이저 주파수를 기준으로 빛의 간섭 원리를 이용하여 정밀하게 측정하는 방법을 가리키며, 비접촉 측정, 민감도가 높고 화도가 높은 장점을 가지고 있다.레이저 간섭 측정 기기는 일반적으로 변위, 길이, 각도, 면기, 매체 굴절률의 변화 등 방면의 측정에 사용되며, 자주 사용하는 간섭기는 마이클슨 간섭기, 마하 제드 간섭기, 페소 간섭기, 타이만 그린 간섭기 등 레이저 간섭 측정이 초정밀 측정 제어와 미나 척도 측정을 실현하는 효과적인 수단 중의 하나이며, 많은 분야에서 매우 중요한 역할을 한다.최근, 국가 중대 과학 기술 전문 프로젝트"극대 규모 집적 회로 제조 장비 및 세트 공예"등 프로젝트의 지원 하에 칭화대 학장 초빙 교수, 정밀 기기계 학술위원회 주임 리암 연구팀이 완성한"고속도 다축 고해상도 레이저 간섭 측정 기술과 기기"프로젝트는 일련의 핵심 기술 병목 현상을 돌파하여 측정의 새로운 방법, 시스템 및 기기를 형성하였다.리 주임의 소개에 따르면, 프로젝트는 간섭기 부품, 신호 탐지 해조에서 다자유도 탐지 방안 설계에 이르는 전체 체인이 자체 연구 개발한 고측속, 다축 대량정, 고해상도 레이저 간섭 측정 시스템을 실현했다.현재, 이 프로젝트 팀이 연구 개발한 광각기용 이중 주파수 레이저 간섭기 시스템은 이미 우리나라 자체 연구 광각기 부품 대 시제품 연구 개발 과정에 응용되었으며, 누계로 50여 대의 세트를 응용하였다.이 연구성과는 광각기 이중부품대 견본기의 정밀측정수요를 만족시키고 국외간섭기에 대한 의존을 경감시켰으며 그 제품이 우리 나라에 대한 수출제한으로 인한 연구개발위험을 낮추어 우리 나라 광각기 이중부품대 연구개발의 순조로운 실시를 보장하는데 적극적인 역할을 하였다.또한 프로젝트에서 개발한 나노 해상도 추적 가능한 외차 간섭기는 레이저 다차원 측정 시스템 연구와 개발의 비교 검정 연구에도 응용되었다.나노 해상도 추적 가능한 외차 간섭기는 레이저 다차원 측정 시스템의 비선형 오차 원인을 찾아낼 수 있으며, 전문적인 회로로 교정하여 관련 단위의 레이저 다차원 측정 시스템의 성능을 향상시킬 수 있다.개발팀이 제시한 추적 가능한 간섭 측정의 새로운 방법은 무어 단위가 아보가드로 상수를 채택하여 재정의하는 데 기여했다.특히, 과거에 우리 나라는 레이저 간섭 측정 기기의 연구 개발의 핵심 기술을 장악하지 못했지만, 이 프로젝트의 성공은 일거에 우리 나라 레이저 간섭 측정 기기에 대한 외국의 제한과 독점을 타파하고, 우리 나라 레이저 간섭 측정 이론과 기술을 풍부하게 하였는데, 이는 앞으로 우리 나라 장비와 기기의 연구 개발이 성능이 안정적이고 외국의 측정 및 추적 능력에 얽매이지 않을 것이라는 것을 의미한다.요컨대 이 연구 성과는 매우 중요한 기술, 경제, 사회적 효익을 가지고 있다.레이저 간섭 측정 기술은 추적 가능한 나노 측정을 보장하는 중요한 경로이며, 또한 우리 나라가 계량 강국, 제조 강국으로 나아가도록 추진하는 핵심 계량 테스트 기술이다.연구개발팀이 계속 깊이있게 연구함에 따라 우리 나라의 레이자간섭측량기술은 또 끊임없이 진보하여 우리 나라에 더욱 많은 효익을 가져다줄것이라고 믿는다.