회전도료기는 균절기, 탈착기 등이라고도 하는데 기판표면에 액체박막을 균일하게 코팅하는데 사용되는 설비이다.재료과학, 반도체제조, 마이크로전자, 광학 및 생물의학 등 분야에 널리 응용되는 실험실 및 생산설비로서 그 핵심기능은 기판 (예를 들면 규소편, 유리편, 폴리머편 등) 표면에 액체박막 (예를 들면 포토레지스트, 폴리머용액, 생물재료 등) 을 균일하게 코팅하는것이다.
액체재료를 정지하거나 저속으로 회전하는 기판중심에 떨어뜨리면 기판은 전기기계의 구동하에 고속으로 회전하며 원심력은 액체재료를 중심에서 바깥쪽으로 펼쳐지게 하고 회전속도가 안정됨에 따라 액체재료는 기판표면에 균일한 박막을 형성한다.용제를 함유한 액체의 경우 회전과정에서 용제가 휘발하여 고체 또는 반고체 박막을 형성한다.
회전 코팅기는 고속 회전을 통해 발생하는 원심력을 통해 액체 재료를 균일하게 펴고 두께를 조절할 수 있는 박막을 형성한다.구체적인 절차는 다음과 같다.
링거: 포토레지스트와 같은 액체 재료를 정지하거나 저속으로 회전하는 기판 중심에 넣는다.
가속 회전: 기판은 전기기계의 구동하에 고속으로 회전하며 원심력은 액체재료를 중심에서 바깥쪽으로 펼쳐지게 한다.
박막 형성: 회전 속도가 안정됨에 따라 액체 재료는 기판 표면에 균일한 박막을 형성한다.
용제 휘발 (선택 사항): 용제를 함유한 액체의 경우 회전 과정에서 용제가 휘발하여 고체 또는 반고체 박막을 형성한다.
주요 특징
고균일성: 나노급 두께의 균일성 (±2% 이내) 을 실현할 수 있으며, 포토레지스트 코팅, 반사 방지 코팅 제조 등 박막의 균일성에 대한 요구가 높은 공정에 적용된다.
두께 조절 가능: 회전 속도, 도포 시간 및 재료 점도 등의 매개변수를 조정하여 코팅의 두께를 정확하게 제어할 수 있습니다.
적용 범위가 넓다: 적용 가능한 재료의 종류는 폴리머 용액, 포토레지스트, 잉크, 도료 등을 포함하며 실리콘 조각, 유리, 금속 등 서로 다른 재질의 기판에도 사용할 수 있다.
운영 고려 사항
조작할 때 적합한 흡착판을 선택하여 기판을 바르게 놓고 진공펌프를 열어 기판이 흡착되도록 확보한후 다시 회전을 가동해야 한다.접착제는 동작이 빨라야 하며 규정된 시간 내에 완성해야 한다.전기기계가 멈춘 후에야 위쪽 뚜껑을 열고 필름을 꺼낼 수 있으며, 정기적으로 환기실을 세척하여 액체가 흡입하여 가스로를 막는 것을 방지해야 한다.