다기능 스캔 프로브 현미경은 스캔 프로브 현미경(SPM) 기술과 기타 다양한 기능을 결합한 고해상도 표면 분석 도구다.나노미터 척도의 표면 형상과 국지적인 물리·화학적 성질을 탐지할 수 있는 초고의 공간 해상도와 함께 다양한 측정 패턴을 갖춰 물리·화학·생물 등 다양한 분야의 연구에 적용된다.기존 스캐닝 프로브 현미경의 표면 이미지를 제공할 뿐만 아니라 원자력 현미경 (AFM), 스캐닝 터널 현미경 (STM), 전류, 자성, 열전도율 등의 다기능 테스트를 할 수 있다는 장점이 있다.

다기능 스캐너 현미경주요 구성 요소:
1. 스캔 프로브: 프로브는 스캔 프로브 현미경의 핵심 구성 요소입니다.그것은 일반적으로 매우 날카로운 금속 또는 세라믹 재료로 구성되며 뾰족한 반지름은 나노 레벨에 도달 할 수 있습니다.프로브의 형태, 뾰족한 사이즈, 재료 등 요소는 모두 측정의 정밀도와 질량에 영향을 준다.
2.스캔 플랫폼: 스캔 플랫폼은 샘플을 지탱하는 부분으로 3차원 미세 정밀도의 이동을 실현할 수 있다.플랫폼은 일반적으로 X, Y, Z 방향에서 시료의 미세한 변위를 실현하여 전체 시료 표면을 스캔할 수 있는 고정밀 모터로 구동된다.
3. 레이저 반사 시스템: AFM 모드에서 레이저 빔은 탐침에 반사된 반사경을 통해 탐침의 미세한 변위 변화를 정확하게 측정하여 샘플 표면의 높이 정보를 얻을 수 있다.
4. 컨트롤러와 데이터 수집 시스템: 컨트롤 시스템은 스캔 파라미터(예를 들어 스캔 속도, 탐침과 샘플 사이의 거리 등)를 조절하고 수집된 데이터를 처리하고 분석한다.데이터 수집 시스템은 일반적으로 민감도가 높은 증폭기와 디지털화 기기를 결합하여 탐침과 샘플의 상호작용 정보를 컴퓨터가 식별할 수 있는 신호로 전환한다.
5. 기능 모듈: 특수 기능 모듈은 전기학, 자기학, 열학 등 측정 모듈을 포함한다.이 모듈은 현미경 시스템에 설치할 수 있으며 서로 다른 측정 모드를 전환하고 테스트하는 데 사용됩니다.
다기능 스캔 프로브 현미경의 주요 기능:
1. 표면 형태 측정: 고해상도의 표면 이미지를 제공하여 표면의 미시적 구조를 드러낼 수 있다.AFM 모드를 통해 표면 모양의 3D 이미지를 얻을 수 있으며 해상도는 나노미터 수준에 도달 할 수 있습니다.
2. 국부력 측정: AFM 모드에서 탐침 끝과 샘플 표면 사이의 상호 작용력은 탐침의 움직임에 영향을 주고 피드백 제어 시스템을 통해 이 힘의 변화를 측정한다.힘-거리 곡선을 통해 시료의 탄성 계량, 접착력 등 역학적 성질을 얻을 수 있다.
3.전기학 및 자기학 측정: 국부 전류, 전세, 국부 전도율 등 전기학 성질의 측정을 진행할 수 있다.STM 모드에서는 샘플 표면의 전자 구조 정보를 얻을 수 있습니다.자성 측정 모드는 자성 입자의 분포와 상호 작용 등 재료의 국부적인 자성 구조를 드러낼 수 있다.
4.열전도율과 열전도: 열전효과의 측정을 통해 재료의 열전도율을 평가할 수 있다.서로 다른 재료의 열전도율 차이는 나노 척도에서 중요한 의의를 가지고 있으며, 특히 나노 과학 기술 분야에서 열학적 성질의 정확한 측정은 새로운 재료의 설계와 응용을 지도할 수 있다.
5. 화학성분분석: 다른 기술(예를 들어 전기화학현미경(SECM)을 결합하면 표면의 화학성분분석을 할 수 있고 국부전기화학반응을 통해 샘플의 화학반응과정을 모니터링할 수 있다.