다음은 저온 스캐닝 프로브 현미경 교정 방식에 대한 설명입니다.

1. 환경 및 기초 설정 교정

1.온도 안정성 검사: 설비가 저온 환경에서 작업해야 하기 때문에, 우선 냉동 시스템의 정확한 온도 제어를 확보해야 한다.표준 온도 센서를 시료대 근처에 배치하여 설정 온도에서 변동 상황을 모니터링합니다.이상적인 상태에서 장시간 운행 중 온도 파동은 극소 범위 내에서 통제해야 하며, 파동이 너무 크면 냉동기 파라미터를 조정하거나 단열층이 손상되었는지 검사해야 한다.

2.진동 격리 검증: 미세한 진동은 프로브 스캐닝 정밀도를 방해합니다.방진대를 가동한후 레이자간섭기 등 민감설비를 배치하여 대면의 진동폭을 검측하고 감진장치의 매개변수를 조정하여 진동을 낮은 수준으로 낮추어 스캐닝과정의 평온을 보장한다.

2. 프로브 핵심 성능 교정

1.형태 교정: 래스터 회절 템플릿과 같은 알려진 주기성 나노 구조의 표준 샘플을 선택합니다.서로 다른 스캐닝 범위에서 이미지를 획득하고, 실제 측정의 특징 크기와 표시 값을 비교하여 압전 세라믹 튜브 구동의 탐침 변위 정밀도를 교정하고, 비선형 오차로 인한 변형 왜곡을 제거한다.

2.힘 곡선 교정: 알려진 탄성 계수의 미세 현수막을 역학적 참고로 이용한다.가볍게 두드리는 모드에서 탐침과 샘플 사이의 거리를 점차 변경하고, 현수막 빔의 진폭 및 위상의 거리에 따른 변화 곡선을 기록하며, 진실한 힘-거리 관계를 입안하고, 온도로 인한 현수막 빔의 탄성 계량 변화 등 요소로 인한 강도 측정 편차를 수정한다.

3.전류 교정 (전도 샘플에 대한): 정밀 전류 소스와 전면 증폭기를 연결하고, 일련의 알려진 전류를 탐침 첨단에 가하고, 동시에 피드백 신호의 강도를 기록하며, 표준 곡선을 그리며, 후속으로 터널 관통 전류 등 전기학 파라미터를 정확하게 계량화하는데 편리하다.

3. 광학 보조 시스템 교정

광학 현미경의 보조 위치를 갖추려면 물경 측정을 해야 한다.이동대에는 정확한 눈금이 있는 십자준선표적을 고정하고 부동한 확대배수물경관찰을 전환하며 시야중심이 좌표원점과 일치할 때까지 광학계통을 조정하고 눈금선에 기변이 없어 육안관측구역이 스캔탐침의 작업구간에 정확하게 대응할수 있도록 보장한다.

4. 정기적으로 전면적으로 검사한다

상술한 전문항목 교정 외에 정기적으로 전체 성능 평가를 전개해야 한다.단일 실리콘 칩을 종합 테스트 샘플로 사용하여 여러 차례의 스캔 임무를 연속적으로 수행하며, 큰 범위에서 작은 영역의 정밀 영상을 개관하고 중복성과 일치성을 검사하는 것을 포함한다;동시에 서로 다른 탐침이 같은 구역에 있는 측정 결과를 교차하여 비교하고, 개체 차이가 초차적인 탐침을 조사한다.

저온 스캐닝 프로브 현미경 교정은 환경 안정성, 프로브 핵심 성능 및 보조 시스템 협동성을 종합적으로 고려해야 하며, 다차원, 주기적인 전문 교정 조작을 통해 이 정밀 기기가 복잡한 작업 상황에서 신뢰할 수 있는 미시적 표징 데이터를 제공할 수 있도록 보장할 수 있다.