하전 효과란?

스캔 전자 현미경은 주로 샘플 표면의 미시적 형태 관찰에 사용되지만 샘플을 관찰하는 과정에서 하전효과로 인해 이미지가 비정상적으로 밝아지고 왜곡되며 심지어 이미지가 모호해지는 상황이 발생하여 영상의 질에 심각한 영향을 미친다.

그림 1 고체 절연 재료의 전자 발사 특성 곡선.가로 좌표는 입사 전자 에너지이고 세로 좌표는 시료의 전자 생산율이다.하전 현상은 키르호프 전류의 법칙으로 표시할 수 있는데, 즉 어느 순간 어느 한 결점으로 흐르는 전류의 합은 노드에서 흘러나오는 전류의 합과 같다.다음과 같은 공식 표현을 사용할 수 있습니다.

여기서 I_p입사 전자의 전류인데,δI_b)배산란전자와 이차전자의 전류를 합친 것이다.I_SC샘플 접지 전류입니다. Q는 시간 t 내의 방전 전하입니다.