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스캐닝 렌즈 아래의 다층 압전 세라믹 재료 분석
날짜:2021-01-13읽기 :0

다층 압전 세라믹은 수층 압전 재료로 구성되어 있으며 내부 전극과 교차하여 배열되어 있다.내부 전극은 계속해서 양극과 음극으로 위치하며 모든 양전극은 어셈블리 측면의 외부 전극에 연결됩니다.음극은 어셈블리의 반대편에 연결됩니다.단층 압전 세라믹에 비해 다층 압전 세라믹의 큰 장점은 단층 압전 세라믹과 같은 변위를 실현할 때 가하는 전압을 줄일 수 있다는 것이다.단층 압전 세라믹의 변위는 압전 상수 d33 곱하기 전압과 같고, 다층 압전 세라믹의 변위는 압전 상수 d33 곱하기 전압 곱하기 층수와 같다.

스캐닝 터널 현미경 (STEM) 은 압전 세라믹 기술을 사용하는데, 스캐닝 터널 현미경은 바늘 끝이 샘플 표면에서 고정밀도의 스캐닝을 하는 것을 제어해야 하는데, 일반 기계의 제어로는 이 요구에 도달하기 어렵다.압전 세라믹 재료는 간단한 방식으로 1mV-1000V의 전압 신호를 십여 분의 1 나노미터에서 몇 마이크로미터의 변위로 변환할 수 있다.

다층 압전 세라믹 부품의 품질 요구가 비교적 높기 때문에 그 내부의 다층 구조는 스캐닝 렌즈 (SEM) 를 사용하여 관찰해야 한다. 예를 들어 각 층의 세라믹에 결함이 있는지, 다층 세라믹의 두께가 균일하는지, 전극인 은층이 균일하게 덮여 있는지, 이런 구조는 부품의 사용 수명에 영향을 미친다.