이 회사는 중국 탄화규소 (SiC) 3세대 반도체 혼합기술 연구 및 부품 연구개발, 설계, 제조, 응용, 판매가 일체화된 기관이다.고출력 반도체 칩 구조 설계와 외연 성장, MOSFET, IGBT 칩 설계와 응용, 3세대 반도체 전력 부품 패키징과 방열에 주력하는 탐구자다.

Thetametrisis는 그리스 국립 과학 연구 개발 센터에서 독립적으로 개발 된 하이테크 회사로서, 주요 기술은 광학 반사 스펙트럼 분석법을 사용하여 단층과 다층의 두께 및 굴절률을 정확하게 측정하는 것입니다. 두께의 측정 범위는 몇 나노미터에서 마이크로미터 수준까지입니다.

FR-Scanner(370nm-1020nm)는 면적이 작은 데스크톱식 계측 기기로, 웨이퍼에 서로 다른 위치로 설정된 코팅 두께를 자동으로 측정할 수 있다.FR-Scanner는 두께, 굴절률 등과 같은 박막 특성을 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다.진공 흡착이 있는 wafer stage는 크기와 모양이 다른 제품을 테스트할 수 있습니다.

FR-Scanner는 전체 웨이퍼를 회전 웨이퍼와 고속도 및 정밀도 (반지름 및 각도) 선형으로 이동하여 스캔합니다. 이를 통해 FR-Scanner는 반복성이 높은 정확한 반사율 데이터를 기록하여 at-line 및 on-line 측정 웨이퍼의 코팅 또는 기타 베이스의 코팅에 이상적인 도구가 될 수 있습니다.

FR-Scanner는 얇은 필름에서 몇 나노미터, 두께에서 수백 마이크로미터에 이르는 광범위한 응용 프로그램 구성을 제공하며 일상적인 사용을 위해 전용 소프트웨어를 구성합니다.FR-Scanner는 정확성, 정밀도, 재현성 및 장기적인 안정성에서 뛰어난 성능을 제공합니다.