이 고객은 중국 탄화규소 (SiC) 전력 부품 산업화의 chang 리더 중 한 명으로 2021년에 첫 번째 ThetaMetrisis FR-Scanner-AIO-Mic을 설치했으며, 기계 사용 상황이 양호하기 때문에 올해 두 번째와 세 번째 장비 (가시광선과 자외선 범위 포함) 를 추가로 구매했다.
FR-Scanner-AIO-Mic 필름 두께 측정기는 파장 범위가 370-1020nm인 가시광선 간섭 측정을 사용하여 12nm-90um 범위의 필름 두께 (5X 렌즈) 를 측정할 수 있으며 정확도는 0.2% 또는 2nm, 정밀도는 0.02nm로 성비가 높은 필름 두께 측정 장비입니다.FR-Scanner의 자외선 구성은 파장 범위가 200nm로 낮고 4nm-60um 범위의 필름 두께(5X 렌즈)에 적용될 수 있으며 정확도는 0.1% 또는 1nm에 달한다. 시장에서 대부분의 필름 두께 측정기는 현미경 구성을 추가한 후 장비의 필름 두께 측정 범위가 크게 줄어들었지만 ThetaMetrisisisisiss 제품은 그렇지 않으며 두께 측정 범위는 여전히 넓습니다.특히 멀티 매핑 측정 기능을 구현하는 것은 FR-Scanner 시리즈의 표준입니다.