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사용자는 북경회유에 위치한 실험실로서 guo가급 신형과학연구사업단위로서 청정저탄소안전고효률에너지체계구축과"탄소다봉, 탄소중립"전략목표를 대상으로 전략적, 전망적, 기초적인 과학기술연구를 전개한다.

테타메트리시스는필름 두께 측정기 설비는 주로 고객의 어떤 공정 단계의 산화물, 포토레지스트, 반도체 화합물 등 코팅 두께 방면의 측정에 응용된다.

ThetaMetrisis는핵심 기술은 백색 반사 스펙트럼 (WLRS는), 그것은 몇 에이치에서 밀리미터까지의 초폭 범위 내에서 쌓인 박막과 두꺼운 막의 두께와 굴절률을 정확하게 측정할 수 있다.

FR-μ프로브현미경 박막 측정기는 광학 현미경을 통해 흡광도, 투과율, 반사율, 형광 등 다양한 모드에서 광학 측정을 할 수 있는 원스톱 솔루션을 제공한다.

FR-μ프로브주로 두 개의 광학 구성 요소가 포함되어 있습니다. 하나는 현미경이 지원하는 스펙트럼 범위 내에서 작동하는 스펙트럼과 하나는 3통 광학 현미경에 설치됩니다.C-마운트포트의 모듈입니다.측정에 사용되는 광원은 광학 현미경 자체에서 가져옵니다.측정 플레어의 크기 영역은 사용된 대물경의 확대 배수로 정의됩니다.일반적으로50X대물렌즈, 측정 영역은 지름 대략5μm의 원형.배율이 더 높거나 구멍 지름이 더 작은 대물렌즈를 사용하여 측정 반점을 더 줄일 수 있습니다.

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