이 단위는 중국과학원 산하 연구소로서 우리 나라 마이크로전자과학기술과 집적회로령역의 중요한 연구개발기구이다.주요 응용 방향은 화합물 반도체 부품과 회로 관련 연구다.

PLSINTEC는회사에서 생산했어UltraShapeTM는웨이퍼 형태 크기 검측 및 선별 시스템은 업계 최고 생산 능력을 실현할 수 있는 검측 시스템이다.웨이퍼 크기 측정은 제조 공정에서 중요한 의미를 가진다.

반도체 설계, 제조, 패키징 중의 각 단계에서 반복적으로 여러 차례 검측, 테스트를 진행하여 공정이 사전 설정 지표에 부합하도록 보장하고, 편차와 결함이 발생한 불합격 웨이퍼가 다음 공정에 진입하는 것을 방지한다.설계 검증부터 반도체 제조 과정 전반에 이르기까지 검사 장비는 대체할 수 없는 중요한 지위를 가지고 있다.

UltraShapeTM는웨이퍼 형태 검측 및 선별 시스템은 고정밀 고속 스펙트럼 코크스 이중 프로브 대사 센서를 사용하여 웨이퍼의 비접촉식 측정을 실현한다;고정밀 운동 모듈과 웨이퍼 로봇 손을 결합하여 웨이퍼 형태에 대한 측정 정밀도는 마이크로미터급에 달한다.이 시스템은 실리콘, 탄화규소, 사파이어, 유리, 갈륨비소, 질화갈륨 등 다양한 재질의 웨이퍼에 적용된다.실현 가능한 치수 및 구조 측정 내용은 다음과 같습니다.TTV는、Bow는、워프、두께、TIR、Sag은、LTV는（전체 지도테스트) 등을 참조하십시오.