진공계는 진공시스템 내 압력(진공도)을 측정하는 핵심 설비로, 그 수리는 열짝 진공계, 이온화 진공계, 커패시터 필름 진공계 등 진공계 유형의 작업 원리와 결합하여"고장 진단→안전 준비→맞춤형 수리→교정 검증"의 절차를 준수하여 수리 후 정밀도와 안전성이 표준에 도달하도록 확보해야 한다.
진공계 수리는 진공계 설비에 대한 고장 조사, 수리 및 정비 서비스로 주로 다음과 같은 핵심 내용을 포함한다.
수리 내용
고장 검측: 전문 설비를 통해 진공계에 대한 전면적인 검측을 진행하고, 센서 고장, 회로 문제 또는 기계 손상 등 구체적인 원인을 파악한다.
부품 교체: 파손된 센서, 밀봉 코일, 열사 등 핵심 부품을 교체하여 측정 정밀도를 회복한다.
시스템 교정: 표준 진공계를 사용하여 수리 후의 설비를 교정하여 측정 데이터의 정확성을 확보한다.
일반 수리: 일상 사용 중의 접촉 불량, 선로 노후화 등 문제를 처리한다.
심층 복구: 센서 실효, 기계 변형과 같은 복잡한 고장에 대한 해체 수리를 진행한다.
교정 단계:
수리된 진공계를 표준 진공계와 동시에 교정 시스템에 연결합니다.
저진공에서 고진공 (진공계를 덮는 측정 범위) 으로 압력을 점차 안정시키고 양자 판독을 기록한다;
핫 커플링 진공계 허용 오차 ± 15% 와 같이 허용 범위를 초과하는 오차가 발생하면 진공계의'교정 버튼'이나 소프트웨어를 통해 조정합니다 (일부 모델은 컴퓨터 교정을 지원합니다).
수리 요점:
교정 매개변수가 이동되는지 확인하고 필요한 경우 다시 교정합니다.
가열사가 끊어지거나 오염되었는지 등 센서가 손상되었는지 확인하십시오.
전원 케이블이 제대로 연결되어 있는지, 내부 회로에 장애가 발생했는지 확인하십시오.