음수 필터"붉은 빛을 걷게 하고, 푸른 빛을 남기는"다층 필름 부품 - 몇 마이크로미터 두께의 유리 조각으로 보이지만, 레이저 레이더, 의료 내시경, 무대 조명의 영상 품질을 결정한다.그것의 완제품률은 70% 에서 95% 로 향상되었는데, 관건은 더 비싼 도금기가 아니라"매 층의 오차를 미리 계산"하는 공정 통제에 있다.그 높은 완제품률 뒤에 있는 네 가지 철칙에 대해 이야기해 보자.1. 기저"클렌징"이 표준에 도달하지 못하면, 뒤가 모두 하얗다
재료를 넣은 B270 유리는 15min의 RCA-1 세척(NH ₄OH: H ₄O₂: H ⁻O=1:5, 75 ℃)을 거쳐 유기 잔류를 <0.3nm, 다시 10min의 플라즈마 폭격을 가하면 표면이 72mN·m ⁻¹로 올라가 첫 번째 Ta₅껍질을 2.5;로 올린 후 부속력을 내지 않고 굽는다.
2. 이온빔의"안정속도"가"고속"보다 더 중요하다
도금기는 6cm 무선 주파수 이온 소스, PID 폐쇄 루프로 2 inch 웨이퍼를 제어하여 퇴적 속도 파동을 ± 0.2% 로 눌렀다.532nm 간섭 마감편의 경우 21층 막, 총 두께 3.8µm로 속도가 1% 표류하면 중심 파장이 2nm 오프셋되고 직통률은 즉시 10% 떨어진다.속도가 안정되면 파장의 명중은 ± 3nm에서 ± 1nm로 줄어들고 1회 합격률은 15% 향상된다.
3. 실시간 극치 모니터링"제로 지연"오차 보충
이온 빔 보조 퇴적 (IAD) 과정에서 칩급 분광기는 0.5s마다 투사 극치를 채집하고, 알고리즘 1s 내에서 현재 층의 실제 굴절률 n ± 0.001을 산출하며, 전자총 출력을 역방향으로 수정한다.7층에서 n이 0.8% 낮은 것을 발견하자 시스템은 즉시 Ta₂O ₅ 두께를 1.2nm 보충하여 파장을 설계 값으로 되돌렸다.전통적인"도금 후 재측정"에 비해 단일 재작업률은 8% 에서 1% 이하로 떨어졌다.
4. 응력 균형"샌드위치"구조 균열 방지
고출력 레이저 필름은 60J·cm ⁻²의 손상 임계값을 요구하며, 필름 응력은 0에 가까워야 한다.엔지니어는 Ta₂O ₅(+180 MPa)와 SiO₂(–120 MPa)를 2:3 두께 비율로 교체하고 가장 바깥쪽에 20nm의 MgF₂ 저응력 완충층을 추가하여 전체 응력을 +350 MPa에서 +30 MPa로 낮추고 24h 냉열 충격(–40 ℃)↔85 ℃) 이후 균열이 없으며 환경시험 통과율은 85% 에서 98% 로 언급된다.
이로부터 알수 있는바 높은 완제품률은"빨리 도금"하는것이 아니라"정확하게 계산하고 안정적으로 통제"하여 매 나노메터의 오차를 모두 빛이 유리에 들어가기전에 소멸시킨다.