현미경 타원형 기기는 광학 현미경 영상과 타원형 기술을 결합한 기기로 주로 박막의 두께, 굴절률, 흡수 계수 등 파라미터를 측정하고 샘플 표면의 3차원 형태 분포를 얻는 데 사용된다.
현미경 타원형 편광기는 타원형 편광 원리를 바탕으로 입사 편광이 샘플을 통해 반사되거나 투사된 후의 편광 상태 변화를 분석하고 광학 현미경 영상 기술과 결합하여 샘플 표면의 3차원 형태 분포 및 박막 두께, 굴절률 등 광학 파라미터를 획득한다.
프로세스는 다음과 같습니다.
광원 및 편광 제어: 광원에서 나오는 빛은 편광기를 거쳐 선 편광으로 변하고 보상기를 통해 타원 편광과 같은 특정 편광 상태로 조정됩니다.
샘플 상호작용: 편광이 샘플 표면에 입사되어 샘플과 반사 또는 투과되며, 편광 상태는 샘플 특성 (예: 박막 두께, 굴절률) 에 따라 변경됩니다.
검출 및 분석: 편향 탐지기는 반사 또는 투사 광선의 편광 상태 (일반적으로 타원형 Ψ과 설명) 를 측정하고 물리적 모델 (예: 박막 광학 이론) 과 결합하여 샘플의 두께, 굴절률 등의 매개변수를 반연한다.이와 동시에 CCD 영상시스템은 견본표면의 부동한 위치의 타원형매개변수를 획득하여 3차원형모 및 두께분포영상을 형성한다.
운영 고려 사항
샘플 준비:
시료의 표면은 평평하고 청결해야 하며 먼지나 긁힌 자국이 편광반사에 영향을 주지 않도록 해야 한다.
다층막 샘플의 경우 측정 정밀도를 높이기 위해 합리적인 물리적 모델을 구축해야합니다.
환경 제어: 환경 요소(예를 들어 온도, 진동, 잡산광)는 측정 안정성에 영향을 줄 수 있으므로 항온, 방진의 광학 플랫폼에서 조작해야 한다.
데이터 처리:
내장 알고리즘을 이용하여 실험 데이터와 이론 모델을 맞추고 샘플 매개변수를 계산하며 결과를 시각화합니다.
복잡한 샘플의 경우 보다 정확한 결과를 얻기 위해 다양한 분석 기술을 결합해야 합니다.