라인 웨이퍼 건조기초임계 기술을 이용하면 초임계 상태에서 물질은 기체도 액체도 아닌 기체의 확산성과 액체의 용해 능력을 갖게 된다.이러한 특성으로 초임계 유체는 웨이퍼 표면의 미세한 구멍에 효율적으로 침투하여 남아 있는 수분이나 세척액을 가져갈 수 있어 빠른 건조를 실현할 수 있다.

　　라인 웨이퍼 건조기반도체 제조 과정에서 주로 사용되는 웨이퍼 건조 공정.웨이퍼를 세척한 후 표면에 많은 물이나 세척액의 잔류물이 남아 있는데, 이 잔류물에는 불순물이 용해되어 있는데, 이 잔류액체가 스스로 증발하여 건조하게 하면 불순물이 다시 웨이퍼 표면에 달라붙어 오염을 초래할 수 있다.따라서 잔류 액체를 제거하고 웨이퍼의 품질을 보장하기 위해 라인 웨이퍼 건조기를 사용하여 웨이퍼 표면을 건조 처리해야합니다.

제품 특징:

높은 신뢰성: 견고하고 내구성이 뛰어난 패브릭 설계와 안정적인 작동 성능을 통해 오랜 기간 동안 일관성과 안정성을 보장하고 유지 관리 빈도를 줄입니다.

고효율 자동화: 웨이퍼 건조 공정을 위해 설계된 상하재 기구로 선진 생산 라인 설비의 자동화 수요를 만족시키고 생산 효율을 높인다.

초순수 환경 적응: 웨이퍼 생산에 적합한 초순수 환경으로 건조 과정에서 오염을 도입하지 않고 웨이퍼의 품질을 확보한다.